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J-GLOBAL ID：200903033395449720

波長変換装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：園田吉隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001054119
Publication number (International publication number)：2002258339
Application date： Feb. 28, 2001
Publication date： Sep. 11, 2002
Summary：

【要約】【課題】波長200nm付近の紫外光等の所望波長の光を簡易な構成により高い出力で発生させ、かつ、その光を高い繰返し周波数で出力し、あるいは、連続出力する波長変換技術を提供する。【解決手段】レーザー発振器1で波長450nm以上540nm以下のレーザー光(第1波長光L1)を発生させ、その第1波長光L1を非線形光学結晶2で波長225nm以上270nm以下の光(第2波長光L2)に変換して結合ミラー5へ送る。また、レーザー発振器3で波長1000nm以上1100nm以下のレーザー光(第3波長光L3)を発生させ、反射部材4を介して結合ミラー5へ送る。結合ミラー5を介した第2波長光L2と第3波長光L3をCLBO結晶等の非線形光学結晶6で和周波混合し、波長190nm以上217nm以下の紫外光(第4波長光L4)を発生させる。

Claim (excerpt)：

第1の波長のレーザー光を発生する第1のレーザー発振器と、前記第1の波長の光を波長変換して第2の波長の光を発生させる第1の非線形光学結晶と、第3の波長のレーザー光を発生する第2のレーザー発振器と、前記第2の波長の光と前記第3の波長のレーザー光を和周波混合して第4の波長の光を発生させる第2の非線形光学結晶とを有する波長変換装置。

IPC (3)：

G02F 1/37 , H01L 21/027 , H01S 3/00

FI (3)：

G02F 1/37 , H01S 3/00 B , H01L 21/30 515 B

F-Term (19)：

2K002AA04 , 2K002AB12 , 2K002CA02 , 2K002EB15 , 2K002HA19 , 2K002HA20 , 5F046CA03 , 5F046CA10 , 5F046CB22 , 5F046CB27 , 5F072AA02 , 5F072AB01 , 5F072AB02 , 5F072AB20 , 5F072KK12 , 5F072QQ02 , 5F072QQ04 , 5F072RR05 , 5F072YY09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

レーザ光発生方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-052271 Applicant：ソニー株式会社
紫外レーザ装置及び半導体露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-152394 Applicant：株式会社ニコン
波長変換装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-063630 Applicant：ソニー株式会社

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