光偏向器

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001292165
Publication number (International publication number)：2002214561
Application date： Sep. 25, 2001
Publication date： Jul. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】製造性に優れる光偏向器を提供する。【解決手段】光偏向器200は、ミラーチップ210とベース230と磁気回路260とを備えている。ミラーチップ210は、一対の支持体212と、可動板214と、これらを連結する一対の弾性部材216とを備えており、可動板214は一対の弾性部材216を軸として支持体212に対して揺動可能となっている。ミラーチップ210は互いに表裏の関係にある第一面と第二面を有し、可動板214は、第一面に形成されたコイル220と、第二面に形成された鏡面とを有している。ミラーチップ210は、支持体212の第二面がベース230に接着されることにより、ベース230に固定されている。ベース230は鏡面を露出させるための開口234を有している。磁気回路260は、ベース230に対して、ミラーチップ210が設けられた側と同じ側に取り付けられている。

Claim (excerpt)：

ミラー構造体と、ミラー構造体を保持するための単一の板状のベースと、ミラー構造体を駆動するための駆動手段とを備えており、ミラー構造体は、ベースに固定される支持体と、支持体に対して動かされる可動板と、可動板と支持体を連結する一対の弾性部材とを備えており、可動板は一対の弾性部材を軸として支持体に対して揺動可能であり、ミラー構造体は互いに表裏の関係にある第一面と第二面を有し、可動板はその第二面に形成された鏡面を有し、支持体はその第二面がベースに固定されており、ベースは鏡面を露出させるための開口を有しており、駆動手段は、可動板の第一面に形成された導電性要素と、ベースに固定された磁界発生部材とを備えている、光偏向器。

IPC (3)：

G02B 26/10 104 , B81B 3/00 , G02B 26/08

FI (3)：

G02B 26/10 104 Z , B81B 3/00 , G02B 26/08 E

F-Term (8)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC04 , 2H041AZ01 , 2H041AZ08 , 2H045AB06 , 2H045AB16 , 2H045AB73

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

光偏向器及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-313488 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
プレーナ型光走査装置及びその実装構造
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-051805 Applicant：日本信号株式会社

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