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J-GLOBAL ID：200903091235651212

プレーナ型光走査装置及びその実装構造

Inventor： 浅田 規裕
Applicant, Patent owner： 日本信号株式会社
Agent (1)： 笹島 富二雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999051805
Publication number (International publication number)：2000249964
Application date： Feb. 26, 1999
Publication date： Sep. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】半導体製造技術を利用したプレーナ型光走査装置のより一層の小型化、低価格化を図ることを目的とする。【解決手段】シリコン基板11に、トーションバー13A,13Bで軸支された可動板12の表面側にミラー14を設け、可動部12の裏面側に駆動コイル15を設けることにより、可動板12の面積を縮小した。

Claim (excerpt)：

半導体基板に、可動部と、該可動部を揺動可能に軸支する軸支部とを一体に形成し、前記可動部の表面側にミラーを設け、前記可動部の裏面側に駆動コイルを設け、該駆動コイルに静磁界を与える磁界発生手段を設け、前記駆動コイルに電流を流すことにより発生する磁気力により前記可動部を駆動する構成としたことを特徴とするプレーナ型光走査装置。

F-Term (2)：

2H045AB06 ,  2H045AB16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 微細ミラーアレイのミラー駆動方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-030796   Applicant：三星電機株式会社
• センサ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-103855   Applicant：オムロン株式会社
• 固体撮像装置及びこれを用いたディジタル撮像機器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-101043   Applicant：ヒューレット・パッカード・カンパニー