角速度センサ

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：五十嵐清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994054914
Publication number (International publication number)：1995239339
Application date： Feb. 28, 1994
Publication date： Sep. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】複雑で面倒な組立作業も必要のない、極めて小型で高精度の角速度センサを提供する。【構成】センサ基板11にY軸方向に振動する第1の振動体10とX軸方向に振動する第2の振動体16とZ軸方向に振動する第3の振動体17を形成する。また、第1の振動体10をY軸方向に振動させるための櫛形電極9A,9Bからなる振動励振器14と第2の振動体16のX軸方向の大きさを測定する第1の振動検出器15と第3の振動体17のZ軸方向の振動の大きさを静電容量を測定することで検出する第2の振動検出器22を設ける。これにより、センサのX軸回りの角速度とZ軸回りの角速度を検出する。

Claim (excerpt)：

センサ基板に基板面内方向に振動する第1の振動体が形成され、この第1の振動体には、センサ基板の第1の回転軸方向および前記第1の振動体の振動方向に共に直交する方向に振動する第2の振動体と、前記第1の回転軸方向と異なる第2の回転軸の方向および前記第1の振動体の振動方向に共に直交する方向に振動する第3の振動体とが設けられており、前記第1の振動体の振動励振器と、第2の振動体の振動の大きさを検出する第1の振動検出器と、第3の振動体の振動の大きさを検出する第2の振動検出器とが設けられている角速度センサ。

IPC (2)：

G01P 9/04 , G01C 19/56

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

回転振動ジャイロスコープおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-301709 Applicant：モトローラ・インコーポレイテッド
特開平2-129513
特開平2-198315

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