Pat
J-GLOBAL ID:200903007726343721
角速度センサ
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
五十嵐 清
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994054914
Publication number (International publication number):1995239339
Application date: Feb. 28, 1994
Publication date: Sep. 12, 1995
Summary:
【要約】【目的】 複雑で面倒な組立作業も必要のない、極めて小型で高精度の角速度センサを提供する。【構成】 センサ基板11にY軸方向に振動する第1の振動体10とX軸方向に振動する第2の振動体16とZ軸方向に振動する第3の振動体17を形成する。また、第1の振動体10をY軸方向に振動させるための櫛形電極9A,9Bからなる振動励振器14と第2の振動体16のX軸方向の大きさを測定する第1の振動検出器15と第3の振動体17のZ軸方向の振動の大きさを静電容量を測定することで検出する第2の振動検出器22を設ける。これにより、センサのX軸回りの角速度とZ軸回りの角速度を検出する。
Claim (excerpt):
センサ基板に基板面内方向に振動する第1の振動体が形成され、この第1の振動体には、センサ基板の第1の回転軸方向および前記第1の振動体の振動方向に共に直交する方向に振動する第2の振動体と、前記第1の回転軸方向と異なる第2の回転軸の方向および前記第1の振動体の振動方向に共に直交する方向に振動する第3の振動体とが設けられており、前記第1の振動体の振動励振器と、第2の振動体の振動の大きさを検出する第1の振動検出器と、第3の振動体の振動の大きさを検出する第2の振動検出器とが設けられている角速度センサ。
IPC (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (9)
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回転振動ジャイロスコープおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-301709
Applicant:モトローラ・インコーポレイテッド
-
特開平2-129513
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特開平2-198315
-
角速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-142764
Applicant:キヤノン株式会社
-
慣性センサー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-049519
Applicant:株式会社東芝
-
角速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-143148
Applicant:株式会社村田製作所
-
角速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-024875
Applicant:株式会社村田製作所
-
多軸振動モノリシックジャイロスコープ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-301707
Applicant:モトローラ・インコーポレイテッド
-
特開昭58-221109
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Cited by examiner (9)
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回転振動ジャイロスコープおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-301709
Applicant:モトローラ・インコーポレイテッド
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特開平2-129513
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特開平2-198315
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角速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-142764
Applicant:キヤノン株式会社
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慣性センサー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-049519
Applicant:株式会社東芝
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角速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-143148
Applicant:株式会社村田製作所
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角速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-024875
Applicant:株式会社村田製作所
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多軸振動モノリシックジャイロスコープ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-301707
Applicant:モトローラ・インコーポレイテッド
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特開昭58-221109
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