Pat

J-GLOBAL ID：200903081066471808

ドライエッチング用シリカガラス容器及びその製造方法、並びに前記シリカガラス容器を備えたドライエッチング装置

Inventor： 剣持 克彦 ,  岩谷 富士雄 ,  大越 信一 ,  神原 康司
Applicant, Patent owner： 信越石英株式会社 ,  株式会社山形信越石英 ,  株式会社日立製作所 ,  日立北海セミコンダクタ株式会社
Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996337697
Publication number (International publication number)：1998167760
Application date： Dec. 04, 1996
Publication date： Jun. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】壁厚が薄く、かつ清浄に粗面化された内表面をもつドライエッチング処理用シリカガラス容器及びシリカガラス容器の製造方法、並びに前記シリカガラス容器を備えたドライエッチング装置を提供すること。【解決手段】シリカガラス容器の少なくとも内表面を化学的エッチング処理し粗面化したことを特徴とするドライエッチング用シリカガラス容器、及びシリカガラス容器をフッ化水素、フッ化アンモニウム、酢酸及び水を含有する表面処理液で粗面化処理する前記ドライエッチング用シリカガラス容器の製造方法、並びに前記シリカガラス容器を備えたドライエッチング装置。

Claim (excerpt)：

シリカガラス容器の少なくとも内表面を化学的エッチング処理し粗面化したことを特徴とするドライエッチング用シリカガラス容器。

IPC (3)：

C03C 15/00 ,  H01L 21/3065 ,  C23F 4/00

FI (4)：

C03C 15/00 A ,  C03C 15/00 B ,  C23F 4/00 Z ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-055938
  
• 石英ガラス表面処理液およびその使用方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-083578   Applicant：信越石英株式会社
• ガラス状カーボン被膜を有するシリカガラス部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-262012   Applicant：信越石英株式会社, ヘラウス・クワルツグラス・ゲーエムベーハー