走査型プローブ顕微鏡及び走査方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：志賀正武 , 高橋詔男 , 青山正和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004342783
Publication number (International publication number)：2006153589
Application date： Nov. 26, 2004
Publication date： Jun. 15, 2006
Summary：

【課題】試料表面の凹凸形状によらず、精度よく探針と試料表面とを近接または接触させることが可能な走査型プローブ顕微鏡及び走査方法を提供すること。【解決手段】試料表面Sに平行な2方向の走査及び試料表面Sの垂直方向の移動を試料表面Sに対して相対的に行う探針2と、探針2及び試料表面Sの距離に応じて変化する測定量を検出する検出手段4と、探針2が試料表面Sに近接または接触した時点における観測データを採取する観測手段6と、2方向の走査及び垂直方向の移動を制御する制御手段5とを備え、探針2を試料表面Sに対して相対的に所定距離で接近離間させる接近離間駆動部24を備え、検出手段4が、接近離間駆動部24による接近時と離間時とにおける前記測定量の変化率を検出し、該測定量の変化率が、予め設定された閾値を超えるときに、観測手段6が前記観測データを採取する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

試料表面に平行な2方向の走査及び該試料表面の垂直方向の移動を該試料表面に対して相対的に行う探針と、前記探針及び前記試料表面の距離に応じて変化する測定量を検出する検出手段と、前記探針が前記試料表面に近接または接触した時点での観測データを採取する観測手段と、前記2方向の走査及び前記垂直方向の移動を制御する制御手段とを備える走査型プローブ顕微鏡において、前記探針を前記試料表面に対して相対的に所定距離で接近離間させる接近離間手段を備え、前記検出手段が、前記接近離間手段による接近時と離間時とでの前記測定量の変化率を検出し、該測定量の変化率が、予め設定された閾値を超えるときに、前記観測手段が前記観測データを採取することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4)：

G01N 13/10 , G01B 21/30 , G01N 13/12 , G01N 13/16

FI (4)：

G01N13/10 C , G01B21/30 , G01N13/12 A , G01N13/16 A

F-Term (14)：

2F069AA04 , 2F069AA60 , 2F069AA63 , 2F069GG01 , 2F069GG07 , 2F069GG11 , 2F069GG52 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069JJ15 , 2F069JJ25 , 2F069LL03 , 2F069MM24 , 2F069NN05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

超低力原子間力顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-084343 Applicant：デジタルインストゥルメンツインコーポレイテッド
サンプリング走査プローブ顕微鏡および走査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-297363 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
走査型プローブ顕微鏡の自動チップ接近方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-130602 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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Cited by examiner (2)

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