干渉計、その使用方法および撮像素子

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡部敏彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003355492
Publication number (International publication number)：2004138617
Application date： Oct. 15, 2003
Publication date： May. 13, 2004
Summary：

【課題】様々な多重移相画像発生機構の非同相誤差源を同相誤差に変換することができる干渉計を提供する。【解決手段】移相撮像素子3000は、多重移相発生機構1400を備え、多重移相発生機構1400は、高密度移相アレイ素子410,420、ビームスプリッタ310および2つの偏光素子510a,510bを含む。高密度移相アレイ素子410,420は、混ぜ合わされた波面129のそれぞれに偏光された光の第1の部分にそれぞれ適用される2つ以上の異なる移相部分のパターンを含み、混ぜ合わされた波面129を偏光素子510a,510bに伝送する。混ぜ合わされた波面129は、偏光素子510a,510bを通過し、干渉光を備える2つ以上の干渉部分を発生する。各干渉部分は、他の干渉部分に対して唯一の位相関係を有する。【選択図】図7

Claim (excerpt)：

交互配置の多重位相変位干渉情報に基づいて対象物の寸法を解析するための干渉計であって、コヒーレント光ビームから第1および第2のそれぞれに偏光された光を参照素子および対象物にそれぞれ伝送し、前記参照素子および前記対象物から戻された第1および第2のそれぞれに偏光された光を混合して混ぜ合わされた波面にし、該混ぜ合わされた波面を出力する伝送部と、前記混ぜ合わされた波面を入力するように配置された多重移相画像発生部であって、少なくとも第1の光路に沿って配置された少なくとも第1の相対移相アレイ装置を備える多重移相画像発生部と、前記第1の光路に沿って配置された少なくとも1つの検出アレイを備える検出部とを備え、前記多重移相画像発生部の前記第1の相対移相アレイ装置は、少なくとも2つの複数相対移相部を備え、前記各相対移相部は、相対遅延部および相対偏光部を備え、前記少なくとも2つの複数相対移相部は、それぞれ、少なくとも1つの遅延量および偏光方向の異なるものを有し、前記少なくとも2つの複数相対移相部は、それぞれ、前記第1の相対移相アレイ装置内に交互配置のパターンで配置され、前記第1の相対移相アレイ装置は、前記第1および第2のそれぞれに偏光された光を含む混ぜ合わされた波面の少なくともサブ波面を受光し、前記少なくとも2つの複数相対移相部は、前記第1の光路に沿って少なくとも1つの複数干渉部分を生成し、前記第1の光路に沿って生成された複数干渉部分は、それぞれ、単一の相対位相変位を有する干渉光を備え、前記多重移相画像発生部は、少なくとも前記第1の光路から交互配置の多重位相変位干渉画像情報を出力し、前記第1の光路から出力された交互配置の多重位相変位干渉画像情報は、それぞれ、前記第1の光路に沿って生成された複数干渉部分を備え、前記複数干渉部分は、前記複数相対移相部の交互配置のパターンによって少なくとも部分的に規定されたパターンで相互に交互配置されることを特徴とする干渉計。

IPC (1)：

G01B9/02

FI (1)：

G01B9/02

F-Term (10)：

2F064AA09 , 2F064CC10 , 2F064EE01 , 2F064FF01 , 2F064GG12 , 2F064GG23 , 2F064GG38 , 2F064HH03 , 2F064HH08 , 2F064JJ01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特許第6304330号
特許第6304330号
干渉計測装置及び格子干渉式エンコーダ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-066798 Applicant：キヤノン株式会社

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