炭化珪素単結晶の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊藤洋二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997163087
Publication number (International publication number)：1999012096
Application date： Jun. 19, 1997
Publication date： Jan. 19, 1999
Summary：

【要約】【課題】薬液や機械研磨によらずにシリコン基板を除去する。【解決手段】まず、シリコンウェハ11上に炭化珪素単結晶層12を成長させる。そして、シリコンウェハ11と一体で炭化珪素単結晶層12と蓋材4bとを接着剤13で固定する。この後、蓋材4bを結晶成長装置に装着し、結晶成長装置内を珪素単結晶が溶融する温度にしてシリコンウェハ11を溶融、除去する。シリコンウェハ11を除去したあと、露出した炭化珪素単結晶層12の表面に炭化珪素単結晶16を成長させる。すなわち、熱処理によってシリコンウェハ11を除去する。

Claim (excerpt)：

珪素単結晶基板(11)上に炭化珪素単結晶層(12)を形成したのち、前記珪素単結晶基板(11)を除去し、前記炭化珪素単結晶層(12)を種結晶として炭化珪素単結晶(16)を形成する炭化珪素単結晶の製造方法において、前記珪素単結晶基板(11)の融点以上の温度にて、前記珪素単結晶基板(11)を溶融、除去する工程を備えたことを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。

IPC (2)：

C30B 29/36 , H01L 21/205

FI (2)：

C30B 29/36 A , H01L 21/205

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

特開昭53-147700
炭化珪素単結晶の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-234090 Applicant：株式会社デンソー
単結晶炭化ケイ素層の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-081651 Applicant：ツェーエス・ハルプライター・ウント・ゾラールテクノロジー・ゲーエムベーハー

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Cited by examiner (5)

特開昭53-147700
特開昭53-147700
炭化珪素単結晶の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-234090 Applicant：株式会社デンソー

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