Pat
J-GLOBAL ID：200903081865118029

小さな入射ビームスポットを生成するための原子間力顕微鏡

Inventor：
ハンスマ、ポール、ケー.

About ハンスマ、ポール、ケー.

, 
シャファー、ティルマン、イー.

About シャファー、ティルマン、イー.

, 
クリーブランド、ジェイソン、ピー.

About クリーブランド、ジェイソン、ピー.


Applicant, Patent owner：
ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニア

About ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニア


Agent (1)： 中島 淳 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998512687
Publication number (International publication number)：2000517433
Application date： Aug. 20, 1997
Publication date： Dec. 26, 2000
Summary：
【要約】原子間力顕微鏡は、入射ビーム(44)の光の波長に十分な開口数を有する光学系を用いて、少なくとも一次元で8μm又は8μm未満のサイズのスポットをカンチレバー(14)上に形成する。調節可能なアパーチュア(34)は、カンチレバー(14)上の入射ビームスポットのサイズ及び/又は形状を制御するのに用いることができる。入射ビーム及びカンチレバーから反射されたビームの一部は重なり合い、入射ビームの焦点面がカンチレバー(14)の平面に平行になるように向けられる。入射及び反射光ビームは、四分の一波長板(42)と関連したビームスプリッター(40)を用いて偏光することにより分割される。移動可能な焦点レンズと結合された、光学系及び観察システムでは一般的である共焦点観察システムを用いて、焦点を合わせることができる。
Claim (excerpt)：
少なくとも1つのカンチレバーが取り付けられており光学検出器を含む、小さな入射ビームスポットを生成するための改良された原子間力顕微鏡であって、 光源、及び焦点合わせされた入射ビームを生成する手段を含む光学系と、 前記焦点合わせされた入射ビームを前記カンチレバー上に向かわせ、前記カンチレバーから前記検出器へ反射させる手段と、 を含み、 前記光学系は前記光源からの光の波長に対して十分な開口数を有し、これにより、前記焦点合わせされたビームは少なくとも一次元で8μm又は8μm未満のサイズを有するスポットを前記カンチレバー上に形成する、 原子間力顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 13/16 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30
FI (3)：
G01N 13/16 A ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM