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J-GLOBAL ID：200903063434839529

力勾配検出方法、情報再生方法、情報再生装置及び情報記録再生装置

Inventor： 楠本 修 ,  横山 和夫 ,  梅谷 幸宏
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995019329
Publication number (International publication number)：1996211078
Application date： Feb. 07, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】 非接触型原子間力顕微鏡、磁気力顕微鏡、静電気力顕微鏡による力勾配の測定の高速化を目的とする。【構成】 カンチレバーの少なくとも2次以上の高次の共振周波数近傍でカンチレバーを強制振動させ、その振幅、位相または共振周波数の変化を検出して探針と試料表面の間にはたらく力の力勾配を測定する。【効果】 カンチレバーの二次共振周波数は基本共振周波数の6.27倍、三次共振周波数は17.56倍、四次共振は34.41倍であるので、基本共振周波数の低いカンチレバーを用いても、カンチレバーの強制振動の周波数を上げることができ、振幅、位相、共振周波数の検出に要する時間を短くできる。

Claim (excerpt)：

先鋭化した探針を自由端に有するカンチレバーを試料に接近させ、前記カンチレバーの自由振動の機械的共振周波数のうち少なくとも2次以上の高次の機械的共振周波数近傍の周波数で強制振動源を用いて前記カンチレバーを強制振動させ、前記カンチレバーの振動振幅、または前記強制振動源と前記カンチレバーの振動の位相のずれ、または前記機械的共振周波数の変化から前記探針と前記試料表面の間にはたらく力の力勾配を検出する力勾配検出方法。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G11B 9/00 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 試料測定用プローブ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-176210   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 表面電位測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-009536   Applicant：株式会社日立製作所
• 表面構造を画像化するセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-034155   Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション