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J-GLOBAL ID:200903082027985949

電子銃及びその製造方法並びにフィールドエミッションディスプレイ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 井上 一 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999245033
Publication number (International publication number):2001068016
Application date: Aug. 31, 1999
Publication date: Mar. 16, 2001
Summary:
【要約】【課題】 先端径が小さく低仕事関数であるカーボンナノチューブをエミッタとして用い、しかも張り付けによらずにカーボンナノチューブの軸方向をアノードに向けて揃えて配置し、そのチューブの軸方向端部をエミッタエッジとして利用することができる電子銃を提供すること。【解決手段】 導電性シリコン層(カソード)10の表面には多数の突起部例えばSiコーン12が形成されている。このSiコーン12の円錐面上にて、エミッタとなるカーボンナノチューブ20が直接成長して形成され、その先端部20AはSiコーン12の頂部12Aよりもさらに突出している。カーボンナノチューブ20から放出される電子の飛翔経路と干渉しない位置に、カーボンナノチューブ20からの電子の放出量を制御するためのグリッド(ゲート)30が配置されている。さらに、グリッド30を挟んで導電性シリコン層10と対向する位置には、アノード(蛍光板)40が配置されている。
Claim (excerpt):
基板の表面層上に形成された尖鋭な先端部を有するエミッタと、前記エミッタからの電子放出を制御するグリッドとを有し、前記エミッタの先端部と対向するアノードに向けて電子を放出する電子銃において、前記表面層には突起部が形成され、前記エミッタは、前記突起部上に直接成長させたカーボンナノチューブにて形成され、前記カーボンナノチューブの先端部は前記突起部の先端より突出していることを特徴とする電子銃。
IPC (6):
H01J 1/304 ,  G09F 9/30 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 ,  C01B 31/02 101
FI (6):
H01J 1/30 F ,  G09F 9/30 ,  H01J 9/02 B ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C ,  C01B 31/02 101 F
F-Term (21):
4G046CA02 ,  4G046CB03 ,  4G046CB09 ,  4G046CC05 ,  5C031DD09 ,  5C031DD17 ,  5C031DD19 ,  5C036EE02 ,  5C036EE14 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH08 ,  5C036EH26 ,  5C094AA21 ,  5C094AA24 ,  5C094AA43 ,  5C094BA21 ,  5C094CA19 ,  5C094FA02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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