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J-GLOBAL ID:200903082092513655

X線管、X線利用シート状物厚さ測定方法、及びX線利用シート状物厚さ測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦 (外5名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997082979
Publication number (International publication number):1998281747
Application date: Apr. 01, 1997
Publication date: Oct. 23, 1998
Summary:
【要約】【課題】構造が簡易で安価であり、従来よりも高速度でシート状物を移動させても精密にシート状物の厚さを測定出来る、X線管、X線利用シート状物厚さ測定方法、及びX線利用シート状物厚さ測定装置を提供することである。【解決手段】中空真空容器の長手方向の複数の位置に発熱源を有した導電体と、中空真空容器において発熱源から放射される熱電子流によりX線を放射する複数の陽極と、を備えたことを特徴とするX線管を使用する。X線管8と複数のX線検知器24を支持体50に支持させ、これらの間にシート状物52を通過させる。センサ支持体を往復動作させ最も端のX線源及び検知器により較正基準体58とシート状物の厚さを測定させ、最も端のX線源及び検知器を較正し、次に較正された最も端のX線源及び検知器の測定値を利用して、順次内方のX線源及び検知器の測定値を較正する。
Claim (excerpt):
中空真空容器と;中空真空容器中を延出し、上記延出した方向の複数の位置に発熱源を有した導電体と;中空真空容器において導電体の複数の位置の発熱源に対応して複数設けられ、発熱源から放射される熱電子流によりX線を放射する陽極と;を備えたことを特徴とするX線管。
IPC (4):
G01B 15/02 ,  H01J 35/06 ,  H01J 35/08 ,  H01J 35/18
FI (4):
G01B 15/02 A ,  H01J 35/06 C ,  H01J 35/08 Z ,  H01J 35/18
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • X線発生装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-062462   Applicant:浜松ホトニクス株式会社
  • X線管
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-095455   Applicant:ピカーインターナショナルインコーポレイテッド
  • X線発生管
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-148006   Applicant:浜松ホトニクス株式会社
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