ポジ型感放射線性組成物

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003331249
Publication number (International publication number)：2005099246
Application date： Sep. 24, 2003
Publication date： Apr. 14, 2005
Summary：

【課題】高感度と高解像度の特性を併せ持つポジ型感放射線性組成物を提供すること。【解決手段】(a)フェノール性水酸基を2〜7個有する多価フェノール化合物と、ビニルエーテル基を2〜4個有する多価ビニルエーテル化合物とを重付加して得られる重合体、(b)放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤、および(c)アミン化合物を含有するポジ型感放射線性組成物であって、前記アミン化合物の含有量が、重合体に対して0.6wt%以上であることを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

(a)フェノール性水酸基を2〜7個有する多価フェノール化合物と、ビニルエーテル基を2〜4個有する多価ビニルエーテル化合物とを重付加して得られる重合体、(b)放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤、および(c)アミン化合物を含有するポジ型感放射線性組成物であって、前記アミン化合物の含有量が、重合体に対して0.6wt%以上であることを特徴とするポジ型感放射線性組成物。

IPC (4)：

G03F7/039 , C08G83/00 , G03F7/004 , H01L21/027

FI (4)：

G03F7/039 601 , C08G83/00 , G03F7/004 501 , H01L21/30 502R

F-Term (20)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC06 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB16 , 2H025CB17 , 2H025CB41 , 2H025CC20 , 2H025FA10 , 2H025FA17 , 4J031BA07 , 4J031BA10 , 4J031BB02 , 4J031BD22

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特開平4-226461号公報
特開平2-209977号公報
特開平4-219757号公報

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