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J-GLOBAL ID:200903082145097667

広域エネルギーレンジ放射線検出器及び製造法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 梅村 勁樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003433694
Publication number (International publication number):2005191440
Application date: Dec. 26, 2003
Publication date: Jul. 14, 2005
Summary:
【課題】従来、軟X線及び硬X線の双方に対して良好な感度を得ることは困難であった。 【解決手段】検出素子をSiとCdTeとのタンデム構造とする。また、Si基板3とCdTe基板4との間にIn(インジウム)を間挿して、一体化を図ることにより強度を高めるとともに、Si基板3により軟X線を検出し、CdTe基板4により硬X線を検出する。また、CdTe基板4側に分離帯14を設けることにより、電気的に各検出素子が分離でき、2次元画像センサとなり得る。 【選択図】 図4
Claim (excerpt):
II-VI族半導体とIV族半導体との積層構造を有し、広レンジの放射線エネルギー検出を可能にする広域エネルギーレンジ放射線検出器。
IPC (2):
H01L31/09 ,  G01T1/24
FI (2):
H01L31/00 A ,  G01T1/24
F-Term (16):
2G088FF02 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ33 ,  2G088JJ37 ,  2G088KK18 ,  5F088AA03 ,  5F088AB02 ,  5F088AB07 ,  5F088AB09 ,  5F088BA02 ,  5F088BB03 ,  5F088DA01 ,  5F088DA11 ,  5F088LA07 ,  5F088LA09
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • 半導体に基づくX線検出装置
    Gazette classification:公表公報   Application number:特願平9-509915   Applicant:コミツサリアタレネルジーアトミーク, ソシエテソフラデイール
Cited by examiner (9)
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Article cited by the Patent:
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