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J-GLOBAL ID：200903082157853858

弾性表面波フィルタおよび弾性表面波フィルタの製造方法

Inventor： 小山 誠 ,  片村 幸雄 ,  三島 直之
Applicant, Patent owner： 東芝電子エンジニアリング株式会社 ,  株式会社東芝
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995341347
Publication number (International publication number)：1997181553
Application date： Dec. 27, 1995
Publication date： Jul. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】 くし型変換器および反射器のパターンの欠陥がほぼ解消され、電気的な特性が良好であり、高周波数帯でも動作可能な弾性表面波フィルタおよびこの弾性表面波フィルタを高い歩留りで製造することが可能な弾性表面波フィルタの製造方法を提供すること。【解決手段】 圧電基板上に形成されたくし型変換器に隣接した反射器を有し、前記くし型変換器および反射器にアルミニウムあるいはアルミニウム合金を用いた弾性表面波フィルタにおいて、前記反射器を構成し、かつ前記くし型変換器に対して外側となる電極指の幅と、該電極指に接続するブスバーの幅とを、前記電極指のピッチ間隔の20〜30倍としたことを特徴とする弾性表面波フィルタおよびドライエッチングに用いるエッチングガスが四塩化ケイ素あるいは三塩化硼素、塩素および希ガスからなる混合ガスであることを特徴とする弾性表面波フィルタの製造方法による。

Claim (excerpt)：

圧電基板上に形成されたくし型変換器に隣接した反射器を有し、前記くし型変換器および反射器にアルミニウムあるいはアルミニウム合金を用いた弾性表面波フィルタにおいて、前記反射器を構成し、かつ前記くし型変換器に対して外側となる電極指の幅と、該電極指に接続するブスバーの幅とを、前記電極指のピッチ間隔の20〜30倍としたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。

IPC (4)：

H03H 9/145 ,  H01L 21/3065 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25

FI (4)：

H03H 9/145 D ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25 Z ,  H01L 21/302 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• SAWフィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-324434   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• 特開昭59-055615
  
• 表面波デバイスの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-316286   Applicant：松下電器産業株式会社
• 弾性表面波デバイスの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-289052   Applicant：株式会社東芝