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J-GLOBAL ID：200903082304030331

電子部品保持具及びその使用方法

Inventor：
小田嶋 智

About 小田嶋 智

, 
細野 則義

About 細野 則義


Applicant, Patent owner：
信越ポリマー株式会社

About 信越ポリマー株式会社


Agent (3)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004206117
Publication number (International publication number)：2006032488
Application date： Jul. 13, 2004
Publication date： Feb. 02, 2006
Summary：
【課題】 構成や製造方法の簡素化を図ることができ、電子部品が簡単に屈曲して破損するおそれがなく、しかも、コストの増大や多量の廃棄物の発生を防止できる電子部品保持具及びその使用方法を提供する。【解決手段】 表裏面がそれぞれ平坦に形成される紫外線透過性の支持板1と、支持板1に薄く積層形成される紫外線透過性の弾性保持層2と、弾性保持層2に着脱自在に密着保持される電子部品であるシリコンウェーハ10とを備え、シリコンウェーハ10の弾性保持層2に密着保持される裏面(被保持面)に、紫外線の照射により粘着性の低下する粘着シート11が粘着される。シリコンウェーハ10の加工時に真空吸着を維持する必要がないので、電子部品保持具の構成や製造方法を簡素化することができる。また、シリコンウェーハ10を保持する場合でも、弾性保持層2を剛性の支持板1が支持するので、平面形状を保持できる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
紫外線透過性の支持体と、この支持体に設けられる紫外線透過性の弾性保持層と、この弾性保持層に保持される電子部品とを含んでなることを特徴とする電子部品保持具。
IPC (2)：
H01L 21/301 ,  H01L 21/683
FI (3)：
H01L21/78 N ,  H01L21/68 N ,  H01L21/78 M
F-Term (7)：
5F031CA02 ,  5F031CA13 ,  5F031DA15 ,  5F031HA78 ,  5F031MA34 ,  5F031MA37 ,  5F031MA39
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (1)
  • 脆質材料の加工方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-147552   Applicant：リンテック株式会社

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