制御装置および制御方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：山川政樹 , 山川茂樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005214306
Publication number (International publication number)：2007034485
Application date： Jul. 25, 2005
Publication date： Feb. 08, 2007
Summary：

【課題】良好な制御特性と最大電力の抑制とを両立させる。【解決手段】制御装置は、制御ループ毎の電力使用予測量指標に基づいて、コントローラをグループ分すると共に、優先側コントローラと非優先側コントローラが同じグループになるよう組み合わせるカップリング処理部3と、優先側コントローラの操作量が一定値以下となるよう優先側操作量出力上限値の大きさを制限する優先側上限処理部5と、優先側コントローラの操作量と非優先側コントローラの操作量との和が一定値以下となるよう非優先側操作量出力上限値を算出する非優先側上限算出部6と、非優先側操作量出力上限値に対する非優先側コントローラの操作量出力の余裕度に応じて次制御周期の優先側操作量出力上限値を増減する優先側上限算出部7とを有する。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

n(nは2以上の偶数)ループの制御系の制御装置において、制御対象を加熱するn個のヒータと、外部から入力された設定値と前記制御対象の制御量に基づいて操作量を算出し、操作量出力上限値に応じて大きさを制限した前記操作量を対応する前記ヒータに出力するn個のコントローラと、前記nループの制御系の昇温の開始を検出する昇温開始検出部と、前記昇温開始が検出されたきに、電力使用量の予測値に相当する電力使用予測量指標を制御ループ毎に算出する電力使用予測量指標算出部と、前記制御ループ毎の電力使用予測量指標に基づいて、前記n個のコントローラをn/2個のグループに分けると共に、このグループ分けに際して、電力供給の優先度が高い優先側コントローラと電力供給の優先度が低い非優先側コントローラとが同じグループになるように組み合わせるカップリング処理部と、前記グループ毎に設けられ、前記優先側コントローラの操作量出力が一定値以下となるように、予め入力された優先側操作量出力上限値の大きさを制限して前記優先側コントローラに与えることをグループ毎に行う優先側上限処理部と、前記グループ毎に設けられ、前記優先側コントローラの操作量出力と前記非優先側コントローラの操作量出力との和が前記一定値以下となるように、非優先側操作量出力上限値を算出して前記非優先側コントローラに与えることをグループ毎に行う非優先側上限算出部と、前記グループ毎に設けられ、前記非優先側操作量出力上限値に対する前記非優先側コントローラの操作量出力の余裕度に応じて、前記優先側操作量出力上限値を増減させる算出を行い、算出した値を次制御周期の優先側操作量出力上限値として前記優先側上限処理部に与えることをグループ毎に行う優先側上限算出部とを有することを特徴とする制御装置。

IPC (1)：

G05B 7/02

FI (1)：

G05B7/02 A

F-Term (12)：

5H004GA13 , 5H004GB06 , 5H004HA14 , 5H004HB14 , 5H004JA03 , 5H004JB01 , 5H004KA03 , 5H004KB02 , 5H004KB04 , 5H004KB06 , 5H004LA02 , 5H004LB06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

制御装置および制御方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-236671 Applicant：株式会社山武
特許第3467401号公報
電力制御方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-076498 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 理化工業株式会社

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