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J-GLOBAL ID:200903082610559370

大面積導波路フィルム及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 絹谷 信雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999246108
Publication number (International publication number):2001074951
Application date: Aug. 31, 1999
Publication date: Mar. 23, 2001
Summary:
【要約】【課題】 製造が容易で低コストな大面積導波路フィルム及びその製造方法を提供する。【解決手段】 プラスチックフィルム2上にコア層4及び側面クラッド層5を形成する際にフォトブリーチング用ポリマ材料にフォトマスクを介してUV光を照射することにより、同時に高屈折率のコア層4及び低屈折率の側面クラッド層5を得ることができるので、従来のようなフォトリソグラフィ工程、ドライエッチング工程等を用いることなく、高精度で大面積のコア層パターンが簡単にしかも低コストで得られる。
Claim (excerpt):
プラスチックフィルム上に略矩形断面形状のフォトブリーチング用の高屈折率のコア層が所望間隔でアレイ状に形成され、該高屈折率のコア層の両側面にフォトブリーチング用の低屈折率のクラッド層が形成され、該低屈折率のクラッド層及び上記コア層の上に低屈折率の上部クラッド層が形成され、上記プラスチックフィルムの下面及び上記上部クラッド層の上面にUV光反射層か、あるいはUV吸収層が形成されていることを特徴とする大面積導波路フィルム。
IPC (3):
G02B 6/12 ,  G02B 6/13 ,  G02B 6/122
FI (3):
G02B 6/12 N ,  G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 A
F-Term (8):
2H047KA03 ,  2H047PA02 ,  2H047PA15 ,  2H047PA21 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H047TA00 ,  2H047TA43
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (6)
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