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J-GLOBAL ID：200903082681527364

フォトアシッド前駆体配合物で用いるに適した安定剤

Inventor： ロートン,ジヨン・アラン ,  ネベ,ウイリアム・ジヨン ,  ソメス,グレン・アンソニー
Applicant, Patent owner： イー・アイ・デユポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
Agent (1)： 小田島 平吉 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997501072
Publication number (International publication number)：1999506842
Application date： Jun. 04, 1996
Publication date： Jun. 15, 1999
Summary：

【要約】本発明はフォトアシッド前駆体とカチオン重合性材料が入っている配合物のための安定剤を開示する。この安定剤は該配合中で制限された溶解度を示して該配合中で溶解度平衡状態にある。この安定剤を該配合物中に固相としてそれの溶解度限界を越える量で存在させていることから、この安定剤の濃度は、この安定剤が望まれない遊離酸と反応するにつれて連続的に補われる。

Claim (excerpt)：

安定化を受けさせたフォトアシッド前駆体配合物であって、フォトアシッド前駆体と安定剤を含み、ここで、該安定剤がIA族金属、IIA族金属、アンモニアまたは置換アンモニアと弱酸の塩でありそして上記配合物中で制限された溶解度を示しかつ上記配合物の密度とは異なる密度を有していて該配合物中にそれの溶解度を越える量で存在している配合物。

IPC (5)：

G03F 7/004 503 ,  C08K 3/26 ,  C08L 63/00 ,  G03F 7/004 502 ,  G03F 7/038 503

FI (5)：

G03F 7/004 503 Z ,  C08K 3/26 ,  C08L 63/00 C ,  G03F 7/004 502 ,  G03F 7/038 503

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• ビス-t-ブトキシカルボニルメチルチモールフタレイン、その合成方法並びにそれを含有するレジスト材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-287449   Applicant：信越化学工業株式会社, 日本電信電話株式会社
• 感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-127254   Applicant：旭化成工業株式会社
• 特開昭61-103150