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J-GLOBAL ID：200903082701418680

めっき装置

Inventor： 柄沢 一明 ,  福田 裕幸
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (3)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  西山 雅也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003367707
Publication number (International publication number)：2005133113
Application date： Oct. 28, 2003
Publication date： May. 26, 2005
Summary：

【課題】 めっき装置に関し、めっき前の条件出しが不要で、均一なめっき膜厚を得ることのできるめっき装置を提供することを目的とする。【解決手段】 めっき装置10は、めっき槽12と、めっき槽に配置されたアノード14とカソード16とを備え、カソード16は少なくとも2つの部分16A,16Bに分割され、分割されたカソードの部分に流れる電流が電流計22,24によって測定された電流に基づいてフィードバック制御され、それぞれに調節される構成とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

めっき槽と、該めっき槽に配置されたアノードとカソードとを備え、該カソードは少なくとも2つの部分に分割され、該分割されたカソードの部分に流れる電流をそれぞれに調節する手段を含むことを特徴とするめっき装置。

IPC (2)：

C25D17/12 ,  C25D21/12

FI (2)：

C25D17/12 Z ,  C25D21/12 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 分割アノードめっき装置および電流値決定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-317596   Applicant：日本電気株式会社
• めっき装置および電流値決定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-249634   Applicant：日本電気株式会社
• メッキ処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-174439   Applicant：東京エレクトロン株式会社