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J-GLOBAL ID：200903082887284034
走査型探針顕微鏡用探針、その製造方法、当該探針を用いた記録再生装置及び微細加工装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993259644
Publication number (International publication number)：1995113634
Application date： Oct. 18, 1993
Publication date： May. 02, 1995
Summary：
【要約】【目的】 機械的及び電気的にきわめて安定な走査型探針顕微鏡用探針およびその製造方法を提供する。また、この探針を具備した長期間に渡り安定に動作する記録再生装置や微細加工装置を提供する。【構成】 導電性薄膜又は導電性物質で被覆された誘電体薄膜からなるカンチレバー160の自由端160aの近傍に低融点金属薄膜4を形成し、導電性針状結晶5を低融点金属薄膜4を溶融・冷却することにより固定する。
Claim (excerpt)：
導電性物質で被覆された誘電体薄膜又は導電性薄膜からなるカンチレバーと、前記カンチレバーの先端に設けられた低融点金属薄膜と、前記低融点金属薄膜により前記カンチレバーの先端部に固定された導電性針状結晶とを具備する走査型探針顕微鏡用探針。
IPC (4)：
G01B 21/30
, G11B 13/06
, H01J 37/28
, H01J 37/30
Cited by examiner (5)
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