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J-GLOBAL ID：200903083262212104

弾性表面波素子および弾性表面波素子の製造方法

Inventor：
岩崎 拓哉

About 岩崎 拓哉


Applicant, Patent owner：
株式会社東芝

About 株式会社東芝


Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997328362
Publication number (International publication number)：1999088101
Application date： Nov. 28, 1997
Publication date： Mar. 30, 1999
Summary：
【要約】【課題】 酸や水に溶解する性質を有する圧電性基板を用いた場合でも周波数特性の優れた、信頼性、耐久性の高い弾性表面波素子を提供する。【解決手段】 Li2 B4 O7 (LBO)からなる圧電性基板101と、この圧電性基板上に形成されたSiO2 からなる膜厚hの第1の誘電体膜102と、この第1の誘電体膜102上に形成されたアルミニウム薄膜からなるピッチLの櫛歯状電極103bとをする弾性表面波素子100の第1の誘電体膜102を、その膜厚と比誘電率が、電気機械結合係数k2 が約0.74%より大きくなるように選択して形成する。
Claim (excerpt)：
四硼酸リチウムからなる圧電性基板と、この圧電性基板上に配設された第1の誘電体膜と、前記第1の誘電体膜上に前記第1の誘電体膜を介して前記圧電性基板と電気機械結合するように配設された櫛歯状電極と、この櫛歯状電極を覆うように配設された第2の誘電体膜とを具備したことを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (3)：
H03H 9/145 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25
FI (3)：
H03H 9/145 C ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25 C
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
  • 特開昭59-079622
  • 弾性表面波装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-119394   Applicant：京セラ株式会社
  • 特開平4-158612
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