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J-GLOBAL ID:200903083557757129

全反射測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 岩橋 祐司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000373127
Publication number (International publication number):2002174591
Application date: Dec. 07, 2000
Publication date: Jun. 21, 2002
Summary:
【要約】【課題】 本発明の目的は、一の装置で入射角を容易に及び正確に変えて全反射光を得ることができる全反射測定装置を提供することにある。【解決手段】入射光118を臨界角以上の入射角で被測定試料と全反射プリズムの当接面131に集光し、その全反射光120を得る全反射測定装置において、前記被測定試料112と全反射プリズム110の当接面131に対する入射光118の入射角を全反射測定可能な角度の範囲内で変更可能な入射角変更手段164を備え、前記入射角変更手段164により入射光118の入射角を変えて全反射光120を得ることを特徴とする全反射測定装置122。
Claim (excerpt):
入射光を臨界角以上の入射角で被測定試料と全反射プリズムの当接面に集光し、その全反射光を得る全反射測定装置において、前記被測定試料と全反射プリズムの当接面に対する入射光の入射角を全反射測定可能な角度の範囲内で変更可能な入射角変更手段を備え、前記入射角変更手段により入射光の入射角を変えて全反射光を得ることを特徴とする全反射測定装置。
IPC (4):
G01N 21/27 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/35
FI (4):
G01N 21/27 C ,  G01B 11/06 G ,  G01N 21/01 Z ,  G01N 21/35 Z
F-Term (31):
2F065AA25 ,  2F065CC02 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065MM15 ,  2F065UU01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB04 ,  2G059BB10 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF07 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03 ,  2G059LL02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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