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J-GLOBAL ID：200903083721655707

LEDを用いた製品検査用ライン照明装置

Inventor：
米田 賢治

About 米田 賢治


Applicant, Patent owner：
シーシーエス株式会社

About シーシーエス株式会社


Agent (1)： 柳野 隆生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000025963
Publication number (International publication number)：2001215115
Application date： Feb. 03, 2000
Publication date： Aug. 10, 2001
Summary：
【要約】【課題】 たとえLED光源を採用しても、極細のライン状光を被検査体に照射し得て検出精度が低下することが無く、製造コストを低く抑えることが可能な簡易構成のライン照明装置を提供する点にある。【解決手段】 調光制御部51により制御された狭窄型半導体発光素子を有するLED光源1と、該LED光源1からの出射光2を集光して被検査体表面4aにライン状光2bを形成させるシリンドリカルレンズ5と、を備えており、被検査体表面の反射像はCCDカメラ6で撮像されて、画像解析部57で画像処理される。
Claim (excerpt)：
画像検査システムにおける製品検査用のライン照明装置であって、基板上に光活性層および電流狭窄層を備えた狭窄型半導体発光素子を単または複数個備えてなるLED光源と、該LED光源の出射光を被検査体表面に誘導してライン状光を形成させる光学系と、を備えることを特徴とする製品検査用ライン照明装置。
IPC (6)：
G01B 11/30 ,  F21S 2/00 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/84 ,  H01L 33/00 ,  H05B 37/02
FI (6)：
G01B 11/30 A ,  G01N 21/84 E ,  H01L 33/00 L ,  H05B 37/02 J ,  F21M 1/00 B ,  G01B 11/24 K
F-Term (50)：
2F065AA49 ,  2F065AA51 ,  2F065BB15 ,  2F065DD00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065GG07 ,  2F065GG08 ,  2F065GG14 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL08 ,  2F065LL13 ,  2F065LL15 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065NN02 ,  2F065SS01 ,  2F065SS11 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051BB09 ,  2G051BC01 ,  2G051CA04 ,  3K042AA01 ,  3K042AC06 ,  3K042BC01 ,  3K073AA12 ,  3K073AB01 ,  3K073BA00 ,  3K073CD00 ,  3K073CG13 ,  3K073CG43 ,  3K073CH21 ,  3K073CH31 ,  3K073CJ17 ,  5F041AA06 ,  5F041AA44 ,  5F041BB33 ,  5F041CA10 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F041CA43 ,  5F041DB07 ,  5F041EE04 ,  5F041FF03 ,  5F041FF11
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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