観察機能付III族窒化物結晶、成長装置、方法、およびデバイス

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：磯村雅俊 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002145706
Publication number (International publication number)：2003081696
Application date： May. 21, 2002
Publication date： Mar. 19, 2003
Summary：

【要約】【課題】工程の複雑化をなくし、高価な反応容器を用いることも無く、結晶の大きさが小さくなること無く、高コストになること無く、高性能の発光ダイオードやLD等のデバイスを作製するために実用的な大きさのIII族窒化物結晶の実現、及びその結晶を成長させる成長装置、成長方法を実現する。【解決手段】反応容器101内で、アルカリ金属と少なくともIII族金属を含む物混合融液103を形成しており、この混合融液103と少なくとも窒素を含む物質102から、III族金属と窒素から構成されるIII族窒化物を結晶成長させる結晶成長装置において、反応容器外部より反応容器内部が観察可能な機能を有する。106は加熱装置、窓108の外側のレンズ109を介して、CCD110を有するモニタ111により容器101内を観察することができる。

Claim (excerpt)：

反応容器内で、アルカリ金属と少なくともIII族金属を含む物質が混合融液を形成しており、該混合融液と少なくとも窒素を含む物質から、III族金属と窒素から構成されるIII族窒化物を結晶成長させる結晶成長装置において、該反応容器の外部より該反応容器の内部を観察可能にする手段を有することを特徴とするIII族窒化物結晶成長装置。

IPC (2)：

C30B 29/38 , H01L 21/208

FI (2)：

C30B 29/38 D , H01L 21/208 D

F-Term (14)：

4G077AA02 , 4G077AA03 , 4G077BE15 , 4G077CC04 , 4G077EA02 , 4G077EA04 , 4G077EH10 , 4G077HA02 , 4G077HA12 , 5F053AA03 , 5F053GG01 , 5F053HH01 , 5F053LL03 , 5F053RR20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭63-274691
結晶成長方法および結晶成長装置およびIII族窒化物結晶
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-237195 Applicant：株式会社リコー
半導体単結晶製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-030172 Applicant：コマツ電子金属株式会社

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