荷電粒子ビームカラムのアライメント方法および装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：長谷川芳樹 , 山田行一 , 鈴木康仁
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2003535224
Publication number (International publication number)：2005505899
Application date： Oct. 04, 2002
Publication date： Feb. 24, 2005
Summary：

本発明は、荷電粒子のビームを絞りによって自動的にアライメントするための方法を提供する。したがって、デフォーカスが導入され、画像シフトに基づいて計算された信号が偏向部に与えられる。更に、非点収差の補正のための方法が提供される。したがって、非点補正装置への信号を変えながら生成されたフレームセットに対して鮮鋭度が評価される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

荷電粒子ビームカラムのアライメントを行うために画像を自動的に生成するための方法であって、 a)荷電粒子のビームのエネルギの変化によって色収差を導入することにより、焦点を変化させるステップと、 b)荷電粒子のビームのエネルギを変化させながら、画像セットを生成するステップと、を含む方法。

IPC (9)：

H01J37/153 , G01T1/29 , G03F7/20 , G21K5/04 , H01J37/04 , H01J37/21 , H01J37/22 , H01J37/305 , H01L21/027

FI (10)：

H01J37/153 B , G01T1/29 A , G03F7/20 521 , G21K5/04 C , G21K5/04 M , H01J37/04 B , H01J37/21 B , H01J37/22 502A , H01J37/305 B , H01L21/30 541D

F-Term (18)：

2G088EE30 , 2G088FF12 , 2G088FF14 , 2G088GG30 , 2G088KK32 , 2G088KK35 , 2G088LL12 , 2G088LL13 , 2G088LL26 , 5C030AA06 , 5C033JJ01 , 5C033LL03 , 5C034BB07 , 5C034BB08 , 5F056CB29 , 5F056CC02 , 5F056EA05 , 5F056EA06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

走査型電子顕微鏡の電子光学系自動調節装置及び電子光学系自動調節方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-241903 Applicant：株式会社東芝
特開平2-121252
特開昭63-307652

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