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J-GLOBAL ID：200903083964490897

静電アクチュエータ

Inventor： 樋口 俊郎 ,  山本 晃生 ,  新野 俊樹 ,  坂 高寿
Applicant, Patent owner： 財団法人神奈川科学技術アカデミー ,  坂 高寿
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996036571
Publication number (International publication number)：1997233858
Application date： Feb. 23, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 静電アクチュエータを構成する移動子と固定子の間に、特定の傾斜(スキュー)を持たせることにより、移動子と固定子との位置関係による推力の変動を低減し、制御性の向上を図ることができる静電アクチュエータを提供する。【解決手段】 第1部材と第2部材とを具備し、該第1部材と第2部材はともに絶縁部材中に所定ピッチで3相の電極を埋め込んで構成される静電アクチュエータにおいて、第1部材の電極1と第2部材の電極2との位置関係を特定の傾斜をつけて配置し、推力の変動を抑制するようにしたものである。

Claim (excerpt)：

第1部材と第2部材とを具備し、該第1部材と第2部材はともに絶縁部材中に所定ピッチで3相の電極を埋め込んで構成される静電アクチュエータにおいて、第1部材の電極と第2部材の電極との位置関係を特定の傾斜をつけて配置し、推力の変動を抑制することを特徴とする静電アクチュエータ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 静電アクチュエータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-225551   Applicant：財団法人神奈川科学技術アカデミー
• 静電フィルムアクチュエータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-086482   Applicant：三菱電機株式会社
• 静電アクチュエータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-123724   Applicant：三菱電機株式会社
• 静電アクチュエータ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-208612   Applicant：神鋼電機株式会社
• 特開平4-271284