圧電体薄膜、圧電体およびそれらの製造方法、ならびに当該圧電体薄膜を用いた圧電体共振子、アクチュエータ素子および物理センサー

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：特許業務法人原謙三国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008098480
Publication number (International publication number)：2009010926
Application date： Apr. 04, 2008
Publication date： Jan. 15, 2009
Summary：

【課題】圧電応答性を向上した、窒化アルミニウム薄膜を備えている圧電体薄膜を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電体薄膜は、スカンジウムを含有する窒化アルミニウム薄膜を備えており、窒化アルミニウム薄膜におけるスカンジウムの含有率は、スカンジウムの原子数とアルミニウムの原子数との総量を100原子%としたとき、0.5〜50原子%である。これによって、本発明に係る圧電体薄膜は、窒化アルミニウム薄膜の有する弾性波の伝播速度、Q値、および周波数温度係数の特性を失うことなく、圧電応答性を向上することができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

希土類元素を含有する窒化アルミニウム薄膜を備えている圧電体薄膜であって、上記希土類元素はスカンジウムであり、かつ、上記スカンジウムの原子数と上記窒化アルミニウム薄膜におけるアルミニウムの原子数との総量を100原子%としたとき、上記スカンジウムの含有率が、0.5〜50原子%の範囲内であることを特徴とする圧電体薄膜。

IPC (7)：

H03H 9/17 , H01L 41/08 , H01L 41/187 , H01L 41/18 , H01L 41/24 , H03H 9/56 , H03H 3/02

FI (7)：

H03H9/17 F , H01L41/08 Z , H01L41/18 101B , H01L41/18 101Z , H01L41/22 A , H03H9/56 B , H03H3/02 B

F-Term (12)：

5J108AA04 , 5J108AA07 , 5J108AA09 , 5J108BB08 , 5J108CC11 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108FF05 , 5J108KK01 , 5J108KK07 , 5J108MM11

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

圧電薄膜共振子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-141846 Applicant：宇部エレクトロニクス株式会社
圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-097325 Applicant：セイコーエプソン株式会社

Cited by examiner (2)

圧電薄膜共振子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-141846 Applicant：宇部エレクトロニクス株式会社
圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-097325 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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