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J-GLOBAL ID：200903084164963980

光源装置

Inventor：
岡本 昌士

About 岡本 昌士

, 
朝比奈 隆

About 朝比奈 隆


Applicant, Patent owner：
ウシオ電機株式会社

About ウシオ電機株式会社


Agent (1)： 大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998002746
Publication number (International publication number)：1999204087
Application date： Jan. 09, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：
【要約】【課題】 ランプハウスの窓部材から放射される紫外線の光量を短い時間で安定化させることのできる光源装置を提供すること。【解決手段】 誘電体バリア放電により放電容器11内にエキシマが生成されて紫外線が放出される誘電体バリア放電ランプ10と、誘電体バリア放電ランプ10を収納し、誘電体バリア放電ランプ10からの紫外線を取り出す窓部材25を有するランプハウス20と、ランプハウス20内に設けられた、誘電体バリア放電ランプ10からの紫外線の光量を検出する光センサ40とを具え、光センサ40によって検出される紫外線の光量が一定の値となるよう、誘電体バリア放電ランプ10への投入電力がフィードバック制御される光源装置であって、誘電体バリア放電ランプ10の放電容器11の外表面から光センサ40の受光部41までの距離D1が、誘電体バリア放電ランプ10の放電容器11の外表面から窓部材25の内面までの距離D2に実質的に等しい。
Claim (excerpt)：
誘電体バリア放電により放電容器内にエキシマが生成されて紫外線が放出される誘電体バリア放電ランプと、この誘電体バリア放電ランプを収納し、当該誘電体バリア放電ランプからの紫外線を取り出す窓部材を有するランプハウスと、このランプハウス内に設けられた、前記誘電体バリア放電ランプからの紫外線の光量を検出する光センサとを具えてなり、前記光センサによって検出される紫外線の光量が一定の値となるよう、前記誘電体バリア放電ランプへの投入電力がフィードバック制御される光源装置であって、前記誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面から光センサの受光部までの距離が、当該誘電体バリア放電ランプの放電容器の外表面から前記窓部材の内面までの距離に実質的に等しいことを特徴とする光源装置。
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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