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J-GLOBAL ID：200903084323117416

電子顕微鏡、電子顕微鏡の観察像記憶方法、電子顕微鏡の観察像記憶プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体

Inventor： 古川 裕 ,  橘 和広
Applicant, Patent owner： 株式会社キーエンス
Agent (2)： 豊栖 康司 ,  豊栖 康弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002324899
Publication number (International publication number)：2004158366
Application date： Nov. 08, 2002
Publication date： Jun. 03, 2004
Summary：

【課題】同じ試料を異なる倍率で観察した観察像において、相互の関連付けや領域のマーキングを容易に行える電子顕微鏡等を提供する。【解決手段】電子顕微鏡は、複数の観察像を画像ファイルとして記憶可能であり、低倍率で試料を像観察した低倍率観察像aに、同じ試料を像観察した高倍率観察像Aの像観察領域情報Wを表示すると共に、同じ試料を低倍率で像観察を行った低倍率観察像aの画像ファイルと高倍率で像観察を行った高倍率観察像Aの画像ファイルとを、低倍率観察像aにおける高倍率観察像Aの像観察領域情報Wと共に関連付けて記憶するよう制御する。【選択図】 図14

Claim (excerpt)：

像観察条件に基づいて、電子銃に加速電圧を印加して電子線を試料に照射し、前記試料から放出される二次電子または反射電子を1以上の検出器で検出しながら試料表面の所望の領域を走査することで、観察像を結像し表示部に表示可能な電子顕微鏡であって、 試料を像観察した一の観察像と、前記観察像の少なくとも一部の領域を含む他の観察像とを記憶可能であって、かつ一の観察像が他の観察像上でいずれの位置にあるかを示す像観察領域情報を観察像と関連付けて記憶可能な記憶手段を備える電子顕微鏡。

IPC (1)：

H01J37/22

FI (1)：

H01J37/22 502A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 観察位置表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-059081   Applicant：住友金属工業株式会社
• 走査形電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-306650   Applicant：株式会社日立製作所
• 電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-260877   Applicant：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ