Pat
J-GLOBAL ID：200903030854352611

電子顕微鏡

Inventor：
阿部 勝明

About 阿部 勝明

, 
小室 修

About 小室 修

, 
西潟 謙一

About 西潟 謙一


Applicant, Patent owner：
株式会社日立製作所

About 株式会社日立製作所

, 
株式会社日立サイエンスシステムズ

About 株式会社日立サイエンスシステムズ


Agent (1)： 小川 勝男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000260877
Publication number (International publication number)：2002071594
Application date： Aug. 25, 2000
Publication date： Mar. 08, 2002
Summary：
【要約】【課題】オペレータが容易かつ適正に、観測を目的とする欠陥部に視野設定を行うことができる電子顕微鏡の提供。【解決手段】半導体用ウェハまたは半導体パターン露光用マスクの表面または内部の欠陥/異物を観測する電子顕微鏡において、他のウェハ/マスク検査装置で観測した欠陥/異物の座標位置またはサイズの測定データを取り込み、前記欠陥/異物の存在部に電子顕微鏡の観測視野部を移動させ、他のウェハ/マスク検査装置で得た欠陥/異物の座標と電子顕微鏡の観測視野部およびその周辺領域を図示する機能を有し、ポインティングデバイスのスイッチは、前記図上にポインタで指定された位置に電子顕微鏡の観測視野部を移動させる機能を有し、該観測視野部の移動に伴ない前記図の表示を変更する機能を備えた電子顕微鏡。
Claim (excerpt)：
半導体用ウェハまたは半導体パターン露光用マスクの表面または内部の欠陥/異物を観測する電子顕微鏡において、他のウェハ/マスク検査装置で観測した欠陥/異物の座標位置またはサイズの測定データを取り込み、前記欠陥/異物の存在部に電子顕微鏡の観測視野部を移動させ、他のウェハ/マスク検査装置で得た欠陥/異物の座標と電子顕微鏡の観測視野部およびその周辺領域を図示する機能を有し、ポインティングデバイスのスイッチは、前記図上にポインタで指定された位置に電子顕微鏡の観測視野部を移動させる機能を有し、該観測視野部の移動に伴ない前記図の表示を変更する機能を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (5)：
G01N 23/225 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66
FI (5)：
G01N 23/225 ,  H01J 37/22 502 C ,  H01J 37/22 502 D ,  H01J 37/28 B ,  H01L 21/66 J
F-Term (26)：
2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA42 ,  4M106CA43 ,  4M106DA14 ,  4M106DB05 ,  4M106DB21 ,  4M106DH33 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ24 ,  5C033UU03 ,  5C033UU06
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM