透明電極の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡辺喜平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005003487
Publication number (International publication number)：2006196201
Application date： Jan. 11, 2005
Publication date： Jul. 27, 2006
Summary：

【課題】インジウムを使用しない透明電極であり、耐アルカリ性や湿熱安定性に優れ、しかも電極が逆台形状になりにくい透明電極の製造方法を提供する。【解決手段】酸化亜鉛及び酸化スズを主成分とする透明導電膜を形成する第一工程と、透明導電膜上にレジスト膜を形成する第二工程と、レジスト膜をパターニングする第三工程と、透明導電膜を硝酸、塩酸及び水の混合溶液を用いエッチングし、テーパー角が30〜89度である透明電極を形成する第四工程と、透明電極上に残存するレジスト膜を剥離する第五工程と、を含む透明電極の製造方法。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

酸化亜鉛及び酸化スズを主成分とする透明導電膜を形成する第一工程と、前記透明導電膜上にレジスト膜を形成する第二工程と、前記レジスト膜をパターニングする第三工程と、前記透明導電膜を硝酸、塩酸及び水の混合溶液を用いエッチングし、テーパー角が30〜89度である透明電極を形成する第四工程と、前記透明電極上に残存するレジスト膜を剥離する第五工程と、を含む透明電極の製造方法。

IPC (1)：

H01B 13/00

FI (1)：

H01B13/00 503D

F-Term (9)：

2H092HA04 , 2H092KB14 , 2H092KB15 , 2H092MA10 , 2H092MA13 , 2H092MA18 , 2H092NA27 , 2H092PA08 , 5G323CA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

特開昭63-184726号公報
液晶表示装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-066371 Applicant：出光興産株式会社
酸化亜鉛系透明導電膜及びその作製法並びにそれに使用するスパッタリングターゲット
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-101855 Applicant：株式会社ジャパンエナジー

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