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J-GLOBAL ID:200903084581126039
1つの主発振器に結合した複数の同期増幅器を有するレーザー装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
特許業務法人 武和国際特許事務所
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2009506657
Publication number (International publication number):2009534850
Application date: Mar. 09, 2007
Publication date: Sep. 24, 2009
Summary:
【課題】コストと拡張性に大きな利点を持つ、1つの主発振器に連結した複数の同期増幅器を有するレーザー装置を提供すること。【解決手段】複数の増幅出力を伴うレーザー装置及び方法を開示する。レーザー装置は、主発振器と、主発振器に結合したビームスプリッタと、ビームスプリッタに光学的に結合した2つ以上の出力ヘッドとを有する。ビームスプリッタは主発振器からの信号を2つ以上のサブ信号に分割する。出力ヘッドはそれぞれ2つ以上のサブ信号のうちの1つを受信する。出力ヘッドはそれぞれ、ビームスプリッタに光学的に結合した結合光学素子を有する。ビームスプリッタと結合光学素子の間に光出力増幅器を光学的に結合する。2つ以上の出力ヘッドからの光出力は目標において空間的には重ならない。主発振器信号はパルス化されるので、出力ヘッドの光出力もパルス化され、実質上互いに同期する。【選択図】図1A
Claim (excerpt):
主発振器と、
前記主発振器に結合し、前記主発振器からの光ビームを2つ以上のサブ信号に分割するように構成したビームスプリッタと、
前記2つ以上のサブ信号のうちの1つをそれぞれ受信するように前記ビームスプリッタに対して並列に光学的に結合し、前記ビームスプリッタに光学的に結合した結合光学素子をそれぞれ有する2つ以上の出力ヘッドと、
前記ビームスプリッタと前記結合光学素子の間に光学的に結合した1つ以上の光出力増幅器とを備え、
前記結合光学素子は、前記2つ以上の出力ヘッドからの光出力が目標において空間的に重ならないように構成されることを特徴とする装置。
IPC (3):
H01S 3/23
, H01S 3/10
, H01S 3/109
FI (4):
H01S3/23
, H01S3/10 Z
, H01S3/10 C
, H01S3/109
F-Term (5):
5F172AM08
, 5F172NR12
, 5F172NR14
, 5F172NR22
, 5F172ZZ01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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半導体検査用のファイバ増幅器ベースの光源
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2007-529941
Applicant:ケーエルエー-テンカーテクノロジィースコーポレイション
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レーザ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-088515
Applicant:三菱電機株式会社, レーザー濃縮技術研究組合
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マルチアパーチャファイバレーザシステム
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2004-512245
Applicant:ザ・ボーイング・カンパニー
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特開昭61-193794
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レーザ加工装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-329048
Applicant:松下電器産業株式会社
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光ファイバレーザーシステム及び対応するレイジング方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平9-501601
Applicant:マクダネル・ダグラス・コーポレイション
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テキスチャ装置およびテキスチャ加工方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-346782
Applicant:三菱化学株式会社
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