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J-GLOBAL ID：200903084598372645

ポジ型感光性組成物

Inventor：
児玉 邦彦

About 児玉 邦彦


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001371497
Publication number (International publication number)：2003173022
Application date： Dec. 05, 2001
Publication date： Jun. 20, 2003
Summary：
【要約】【課題】 高解像力で、デフォーカスラチチュード、サイドローブマージンに優れたポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(A1)活性光線又は放射線の照射により、特定の芳香族スルホン酸を発生する化合物少なくとも1種、(A2)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する、フェナシルスルホニウム塩構造を有する化合物及びアルキルスルホニウム塩構造を有する化合物から選ばれた少なくとも1種及び(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
Claim (excerpt)：
(A1)活性光線又は放射線の照射により、少なくとも1つのフッ素原子及び/又は少なくとも1つのフッ素原子を有する基で置換された芳香族スルホン酸を発生する化合物少なくとも1種、(A2)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する、フェナシルスルホニウム塩構造を有する化合物及びアルキルスルホニウム塩構造を有する化合物から選ばれる少なくとも1種及び(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
IPC (7)：
G03F 7/004 503 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  C08F222/00 ,  C08F232/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (7)：
G03F 7/004 503 A ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  C08F222/00 ,  C08F232/00 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (66)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4J100AK32T ,  4J100AL08P ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AM43T ,  4J100AM45T ,  4J100AM47T ,  4J100AR09Q ,  4J100AR11Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03T ,  4J100BA04Q ,  4J100BA05Q ,  4J100BA05R ,  4J100BA05S ,  4J100BA06Q ,  4J100BA11Q ,  4J100BA11R ,  4J100BA11S ,  4J100BA11T ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA15S ,  4J100BA16Q ,  4J100BA34Q ,  4J100BA34S ,  4J100BA35Q ,  4J100BA40Q ,  4J100BA55T ,  4J100BA56Q ,  4J100BA58Q ,  4J100BA58S ,  4J100BB01Q ,  4J100BB18T ,  4J100BC02P ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC07P ,  4J100BC07Q ,  4J100BC07T ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC12P ,  4J100BC12Q ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53R ,  4J100BC53S ,  4J100CA03 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • ポジ型感光性組成物
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-159060   Applicant：富士写真フイルム株式会社
  • ポジ型感光性組成物
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-307537   Applicant：富士写真フイルム株式会社
  • ポジ型感光性組成物
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-152587   Applicant：富士写真フイルム株式会社
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