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J-GLOBAL ID：200903084800642269

走査型近接場光学顕微鏡

Inventor：
冨田 英介

About 冨田 英介


Applicant, Patent owner：
セイコーインスツルメンツ株式会社

About セイコーインスツルメンツ株式会社


Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997058013
Publication number (International publication number)：1998253643
Application date： Mar. 12, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：
【要約】【課題】 波長以下の高分解能を有し、局所的な励起発光測定が可能な近接 場光学顕微鏡を提供する。【解決手段】 先端に直径が波長以下の微小開口部を有する光導波プロ-ブ1と、圧電振動体2と交流電圧発生手段3からなる加振部と、水晶振動子4と電流電圧増幅回路5からなる振動検出部と、光導波プロ-ブを試料表面に接近させる粗動機構6と、レンズ7、8と光検出器9とからなる光検出手段と、Z軸微動素子11とZサ-ボ回路12とからなる試料とプロ-ブ間の距離制御手段と、XY微動素子13とXY走査回路14とからなる2次元走査手段と、測定信号の3次元画像化を行うデ-タ処理手段15とからなり、さらに、弾性体16のバネ圧で光導波プロ-ブ1を水晶振動子4に固定することとした査型近接場光学顕微鏡の構成とした。
Claim (excerpt)：
先端に直径が波長以下の微小開口部を有する光導波プローブと、圧電振動体と交流電圧発生手段からなる加振部と、水晶振動子と電流電圧増幅回路からなる振動検出部と、光導波プローブを試料表面に接近させる粗動機構と、レンズと光検出器とからなる光検出手段と、Z軸微動素子とZサーボ回路とからなる試料とプローブ間の距離制御手段と、XY微動素子とXY走査回路とからなる2次元走査手段と、測定信号の3次元画像化を行うデータ処理手段とからなる走査型近接場光学顕微鏡において、a)弾性体のバネ圧で光導波プローブを水晶振動子に固定することを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。
IPC (2)：
G01N 37/00 ,  G01B 11/30
FI (2)：
G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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