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J-GLOBAL ID：200903085260220803

半導体評価装置

Inventor：
小山 芳紀

About 小山 芳紀


Applicant, Patent owner：
株式会社デンソー

About 株式会社デンソー


Agent (2)： 矢作 和行 ,  野々部 泰平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007104195
Publication number (International publication number)：2008261709
Application date： Apr. 11, 2007
Publication date： Oct. 30, 2008
Summary：
【課題】周辺部品を含めた実際の動作状況にありながらも、評価対象とする半導体装置単体の、高周波ノイズに対する耐量を評価することのできる半導体評価装置を提供する。【解決手段】半導体評価装置は、評価対象とする半導体装置20が実装され、該半導体装置20が有する複数の端子の各別に専用の第1コネクタ21aを有する第1実装基板21と、半導体装置20の周辺部品22が実装され、該周辺部品22と電気的に接続された第2コネクタ23aを有する第2実装基板23とを有する。そして、半導体装置20の注入端子21b及びモニタ端子21cから第1コネクタ21aまでの配線21dは、そのインピーダンスが同一となるインピーダンス整合された上で、第1実装基板21に形成されており、周辺部品と第2コネクタとの間には、伝達する電気信号のうちの交流成分が伝達することを抑制するバイアスティが介在している。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
高周波信号を生成する高周波信号生成器を含んで構成される試験器と、 評価対象とする半導体装置が実装され、該半導体装置が有する複数の端子の各別に専用の第1コネクタを複数有する第1実装基板と、 前記半導体装置の周辺部品が実装され、該周辺部品と電気的に接続された第2コネクタを有する第2実装基板と、 前記第1実装基板に実装された前記半導体装置が有する複数の端子のうちのモニタ端子とされる端子から出力される出力信号を計測する出力信号計測器と、 前記第1コネクタと前記第2コネクタとの機械的な接続を通じて前記周辺部品と電気的に接続されるとともに前記周辺部品も含めた動作状態にある前記半導体装置が有する複数の端子のうちの注入端子とされる端子に、前記高周波信号生成器を通じて高周波信号を注入し、この高周波信号注入時における前記出力信号を計測することで前記高周波信号に対する耐量を前記複数の端子毎に評価する評価手段とを備える半導体評価装置であって、 前記複数の端子から前記第1コネクタまでの配線は、そのインピーダンスが同一となるインピーダンス整合された上で、前記第1実装基板に形成されているとともに、 前記周辺部品と前記第2コネクタとの間には、伝達する電気信号のうちの交流成分が伝達することを抑制する伝達抑制手段が介在していることを特徴とする半導体評価装置。
IPC (2)：
G01R 31/26 ,  G01R 31/30
FI (4)：
G01R31/26 G ,  G01R31/26 A ,  G01R31/26 B ,  G01R31/30
F-Term (11)：
2G003AA01 ,  2G003AA02 ,  2G003AA07 ,  2G003AB14 ,  2G003AG08 ,  2G003AH05 ,  2G132AA00 ,  2G132AB04 ,  2G132AB08 ,  2G132AK03 ,  2G132AL11
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 特許第3642979号公報
Cited by examiner (8)
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