角速度センサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：広瀬和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994024875
Publication number (International publication number)：1994281665
Application date： Jan. 28, 1994
Publication date： Oct. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】振動体に加わる気体の粘性抵抗力を低減すると共に、ノイズを低減して角速度の検出感度等を向上する。【構成】第1の支持梁15により上側基板12と水平方向で、かつ支持軸O-Oと直交するX-X方向に振動可能に設けられた第1の振動体14と、支持軸O-O上に位置して第1の振動体14内に第2の支持梁17を介して水平に支持され、X-X方向および上側基板12と垂直な方向に振動可能に設けられた第2の振動体16とを備え、各振動発生部18によって各振動体14,16をX-X方向に振動させる構成とした。これにより、支持軸O-Oを中心として回転力Tが加わると、コリオリの力によって第2の振動体16は垂直方向に変位し、この変位量は変位量検出部19によって角速度検出信号として検出される。

Claim (excerpt)：

基板と、該基板に第1の支持梁を介して支持され、該基板に対し水平方向に振動可能に設けられた第1の振動体と、前記第1の支持梁の支持軸上に位置して該第1の振動体に第2の支持梁を介して水平に支持され、前記基板に対し水平および垂直方向に振動可能に設けられた第2の振動体と、前記第1の振動体を前記基板に対し水平方向に振動させる振動発生手段と、該振動発生手段で振動を与えている状態で、前記第2の振動体が垂直方向に変位したときの変位量を検出する変位量検出手段とから構成してなる角速度センサ。

IPC (2)：

G01P 9/04 , G01C 19/56

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平4-233468
振動ジャイロセンサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-292586 Applicant：住友精密工業株式会社
角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-143148 Applicant：株式会社村田製作所

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