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J-GLOBAL ID：200903085743663552

重ね合わせ測定装置および方法

Inventor：
福井 達雄

About 福井 達雄

, 
細井 啓一

About 細井 啓一


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000114648
Publication number (International publication number)：2001317913
Application date： Apr. 17, 2000
Publication date： Nov. 16, 2001
Summary：
【要約】【課題】測定誤差が所定以上に大きくなる前に所定のタイミングで光学系の精度を測定して調整することによりスループットを向上させるようにした重ね合わせ測定装置を提供する。【解決手段】ウエハ21を載置するZステージ22Zには精度基準マーク23a,23bが設けられている。ウエハ21の下地重ね合わせマーク20Lの上には上地重ね合わせマーク20Uが形成されている。上下の重ね合わせマークの位置ズレを測定し、その値が所定値以上のウエハを不良品とする。Zステージ22Z上の精度基準マーク23a,23bを利用して定期的に光学系の精度を測定し、収差や照明テレセン、ケラレなどを調整する。不良品の比率が高くなって光学系の精度を検出する場合よりもスループットが向上する。
Claim (excerpt)：
精度基準マークが設けられ、検査対象物を載置する載置台と、照明光を出射する照明光源と、前記照明光源からの照明光を前記検査対象物上の重ね合わせマークおよび前記精度基準マークのいずれかに照射する照明光学系と、照明された前記重ね合わせマークおよび精度基準マークのいずれか一方からの反射光を光電変換素子上に結像させる結像光学系と、前記光電変換素子からの検出信号に基づいて、2層に重なる前記重ね合わせマークの位置ズレを検出する位置ズレ検出装置とを備えることを特徴とする重ね合わせ測定装置。
IPC (3)：
G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G01B 11/00 C ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 W
F-Term (26)：
2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065BB27 ,  2F065CC20 ,  2F065DD08 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065GG02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL10 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065PP23 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ28 ,  5F046EA03 ,  5F046EA09 ,  5F046EB01 ,  5F046EB03 ,  5F046EC05 ,  5F046FA10 ,  5F046FA17 ,  5F046FC04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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