Pat
J-GLOBAL ID:200903085761878221
放射線検出器
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
長谷川 芳樹 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000148280
Publication number (International publication number):2001330674
Application date: May. 19, 2000
Publication date: Nov. 30, 2001
Summary:
【要約】【課題】 小型化と撮像面積の大面積化を両立させ、製作が容易で耐久性を確保できる放射線検出器を提供する。【解決手段】 外部接続用の電極部12とこれに電気的に接続されている電極パッド11とを有する基台1に、複数の光電変換素子21を配置した受光部と、この光電変換素子21に電気的に接続されている電極パッド22とを備える固体撮像素子2を載置し、固体撮像素子2の受光部表面上にはシンチレータ3が形成され、それぞれの電極パッド11、22は配線4により電気的に接続されている。そして、電気絶縁性の有機膜51がシンチレータ3を密封するとともに、電極パッド11、22と配線4とを被覆し、さらにその上に金属薄膜52が形成されている。
Claim (excerpt):
複数の光電変換素子を配置した受光部と、前記光電変換素子に電気的に接続されている電極パッドとを備える固体撮像素子と、外部接続用の電極部とこれに電気的に接続されている電極パッドとを有し、前記固体撮像素子をその上に固定している基台と、前記固体撮像素子の受光部表面上に形成されているシンチレータと、前記固体撮像素子と前記基台のそれぞれの電極パッドを電気的に接続する配線と、前記シンチレータを密封するとともに、前記電極パッドの双方と前記配線とを被覆して形成されている電気絶縁性の有機膜と、前記有機膜上に形成されている金属薄膜と、を備えている放射線検出器。
IPC (5):
G01T 1/20
, G01T 7/00
, H01L 27/14
, H01L 31/09
, H04N 5/32
FI (7):
G01T 1/20 B
, G01T 1/20 E
, G01T 7/00 A
, H04N 5/32
, H01L 27/14 D
, H01L 27/14 K
, H01L 31/00 A
F-Term (51):
2G088EE01
, 2G088EE27
, 2G088FF02
, 2G088FF14
, 2G088GG13
, 2G088GG19
, 2G088GG20
, 2G088JJ05
, 2G088JJ08
, 2G088JJ09
, 2G088JJ10
, 2G088JJ31
, 2G088JJ33
, 2G088JJ37
, 4M118AA08
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA02
, 4M118CA32
, 4M118CB06
, 4M118CB11
, 4M118FA06
, 4M118FB09
, 4M118FB13
, 4M118GA10
, 4M118GD14
, 4M118HA24
, 4M118HA25
, 4M118HA30
, 5C024AX11
, 5C024CY47
, 5C024CY48
, 5C024EX22
, 5C024EX24
, 5C024GX05
, 5C024GY01
, 5F088BA11
, 5F088BA13
, 5F088BA15
, 5F088BA18
, 5F088BB03
, 5F088EA04
, 5F088EA06
, 5F088FA09
, 5F088FA20
, 5F088HA11
, 5F088HA15
, 5F088JA09
, 5F088LA07
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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放射線イメージセンサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-173080
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
-
固体撮像装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-141756
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
-
放射線検出器およびこれを用いたX線CT装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-122198
Applicant:株式会社東芝
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放射線撮像装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-157218
Applicant:浜松ホトニクス株式会社, 三菱電機株式会社
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Cited by examiner (1)
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放射線イメージセンサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-173080
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
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