高分解能コヒーレント光画像化のための方法及び装置

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：柳田征史 , 佐久間剛
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2002509751
Publication number (International publication number)：2004502957
Application date： Jul. 10, 2001
Publication date： Jan. 29, 2004
Summary：

試料の表面下微細構造を検査するための方法及び装置が提供される。複数の光放射源からの光が第1の光路に沿って進行する。第1の光路において、装置はそれぞれの光源からの光を第1の光路に沿う複数の焦点のそれぞれに集束させて、第1の光路の選ばれた部分の実質的に連続な覆域を提供する。次いで、試料内に延び込む選ばれた長さの範囲内にある第1の光路上の試料が、第1の光路の選ばれた範囲に沿って走査される。

Claim (excerpt)：

試料の光検のための装置において、前記装置が: 複数の個別光放射源を提供するための光源手段; 前記光源手段から延びる第1の光路; 前記第1の光路の選択された範囲の実質的に連続な覆域を提供するために、前記光放射源からの光を前記第1の光路内の表面の上に位置する複数の焦点のそれぞれに集束させるための、前記第1の光路にある集束手段であって、使用においては、前記選択された範囲内の少なくとも一部に試料を配置することができ、よって前記試料内の複数の点の同時走査を可能にするものである集束手段; ことを特徴とする装置。

IPC (4)：

G01N21/17 , A61B1/00 , G02B23/26 , H04N5/335

FI (4)：

G01N21/17 620 , A61B1/00 300D , G02B23/26 B , H04N5/335 V

F-Term (39)：

2G059BB12 , 2G059EE09 , 2G059FF01 , 2G059FF03 , 2G059GG01 , 2G059GG03 , 2G059GG06 , 2G059HH01 , 2G059HH02 , 2G059HH06 , 2G059JJ05 , 2G059JJ11 , 2G059JJ12 , 2G059JJ13 , 2G059JJ15 , 2G059JJ17 , 2G059JJ22 , 2G059KK03 , 2G059MM01 , 2G059MM08 , 2G059MM09 , 2H040BA01 , 2H040CA02 , 2H040CA11 , 4C061CC06 , 4C061DD03 , 4C061FF46 , 4C061FF47 , 4C061HH51 , 4C061LL01 , 4C061WW10 , 4C061WW20 , 5C024BX02 , 5C024CX00 , 5C024CY00 , 5C024EX41 , 5C024EX48 , 5C024EX54 , 5C024JX02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

光学的微細プローベ及び材料のスペクトル分析方法
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