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J-GLOBAL ID：200903086115902153

識別タグを備える半導体ウエハ、マスク、ウエハキャリアおよびマスクキャリアならびにこれらを用いる露光装置および半導体検査装置

Inventor：
川村 幸里

About 川村 幸里


Applicant, Patent owner：
株式会社東京精密

About 株式会社東京精密


Agent (5)： 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  小林 龍 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002322852
Publication number (International publication number)：2004157765
Application date： Nov. 06, 2002
Publication date： Jun. 03, 2004
Summary：
【課題】貼付箇所の制限が少ない半導体ウエハや露光装置のマスクの識別手段、およびこれらを識別しうる露光装置および半導体検査装置を提供する。【解決手段】本発明のウエハ(1)およびマスク(6)に無線式非接触識別タグ(5、11)を設け、また露光装置(20)等に無線式非接触識別タグの読み取り手段(33、34)、前記タグに記録されている識別情報とタグが貼付されているウエハ等の制御パラメータなどの属性を関連付けて記憶する記憶手段(21、22)、前記読み取り手段により読み取ったタグの識別情報と記憶されている識別情報を照合する照合手段(23、24)を設ける。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
ウエハ表面の素子を形成しない領域に無線式非接触識別タグを備えることを特徴とする半導体ウエハ。
IPC (7)：
G06K19/07 ,  G03F7/20 ,  G06K17/00 ,  G06K19/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68
FI (8)：
G06K19/00 H ,  G03F7/20 504 ,  G03F7/20 521 ,  G06K17/00 L ,  H01L21/66 A ,  H01L21/68 V ,  H01L21/30 503Z ,  G06K19/00 Q
F-Term (35)：
2H097CA16 ,  2H097JA02 ,  2H097KA20 ,  2H097KA36 ,  2H097LA10 ,  4M106AA01 ,  4M106DA20 ,  5B035BB09 ,  5B035BC03 ,  5B035CA23 ,  5B058CA17 ,  5B058KA13 ,  5B058YA13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031DA01 ,  5F031EA16 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA47 ,  5F031HA57 ,  5F031HA60 ,  5F031JA01 ,  5F031JA49 ,  5F031JA50 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F031PA04 ,  5F031PA08 ,  5F046AA21 ,  5F046AA28 ,  5F046DD03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • ウェーハハンドリングロボット
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-093108   Applicant：三菱マテリアル株式会社
  • 特開平1-266735
  • 特開平4-369851
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