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J-GLOBAL ID:200903086338165215
半導体装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
高橋 敬四郎
, 来山 幹雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005026274
Publication number (International publication number):2006216665
Application date: Feb. 02, 2005
Publication date: Aug. 17, 2006
Summary:
【課題】 強誘電体膜と強磁性体膜との2つの層を積層することなく、かつ強磁性及び強誘電性を損なうことのない構造を有する半導体装置を提供する。【解決手段】 半導体からなる表層部を含む基板1の該表層部内のチャネル領域2の両側に、ソース領域3及びドレイン領域4が形成されている。チャネル領域の上にゲート絶縁膜7が形成されている。ゲート絶縁膜の上に被制御膜9が形成されている。被制御膜は、強誘電性を示すとともに、強磁性またはフェリ磁性をも示す。被制御膜の上にゲート電極10が形成されている。被制御膜の磁化の向きを変化させる磁化制御構造が設けられている。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
半導体からなる表層部を含む基板の該表層部内のチャネル領域の両側に形成されたソース領域及びドレイン領域と、
前記チャネル領域の上に形成されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に配置され、強誘電性を示すとともに、強磁性またはフェリ磁性をも示す被制御膜と、
前記被制御膜の上に形成されたゲート電極と、
前記被制御膜の磁化の向きを変化させる磁化制御構造と
を有する半導体装置。
IPC (4):
H01L 27/105
, H01L 21/824
, H01L 29/792
, H01L 29/788
FI (3):
H01L27/10 444A
, H01L27/10 447
, H01L29/78 371
F-Term (21):
5F083FR06
, 5F083FR07
, 5F083FZ10
, 5F083GA06
, 5F083GA21
, 5F083JA02
, 5F083JA13
, 5F083JA31
, 5F083JA36
, 5F083JA38
, 5F083JA39
, 5F083MA06
, 5F083MA16
, 5F083MA19
, 5F083NA01
, 5F083PR22
, 5F083PR34
, 5F101BA62
, 5F101BD02
, 5F101BF02
, 5F101BF09
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (4)
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不揮発性メモリ及びこれを用いた多値記憶方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-338339
Applicant:財団法人理工学振興会
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強誘電体と強磁性体との複合体及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-338251
Applicant:コリアインスティチュートオブサイエンスアンドテクノロージ
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半導体記憶装置及びその駆動方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-365017
Applicant:キヤノン株式会社
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電界効果トランジスタ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-217738
Applicant:三菱化学株式会社
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Article cited by the Patent:
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