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J-GLOBAL ID:200903086512988471

板状被駆動体の駆動装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 清水 守
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998024772
Publication number (International publication number):1999225487
Application date: Feb. 05, 1998
Publication date: Aug. 17, 1999
Summary:
【要約】【課題】 浮上力を得るために空気圧浮上手段や近距離音波浮上手段を用いるとともに、引き続き、静電力による駆動を行うことにより、駆動力を高めるとともに、システムのコスト低減と、安定性を図ることができる板状被駆動体の駆動装置を提供する。【解決手段】 誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体205を浮上させる、固定部材201に設けられる空気圧浮上手段と、前記固定部材201の表面に形成され、前記板状被駆動体205を搬送する搬送用電極203とを備え、前記板状被駆動体205を、前記空気圧浮上手段により浮上させ、前記搬送用電極203で静電力により搬送する。
Claim (excerpt):
板状被駆動体の駆動装置において、(a)誘電体や絶縁体からなる板状被駆動体を浮上させる、固定部材に設けられる空気圧浮上手段と、(b)前記固定部材の表面に形成され、前記板状被駆動体を搬送する搬送用電極とを備え、(c)前記板状被駆動体を、前記空気圧浮上手段により浮上させ、前記搬送用電極で静電力により搬送することを特徴とする板状被搬送体の駆動装置。
IPC (3):
H02N 1/00 ,  B65G 51/03 ,  B65G 54/02
FI (3):
H02N 1/00 ,  B65G 51/03 C ,  B65G 54/02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
  • 静電アクチュエータ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平4-022012   Applicant:住友重機械工業株式会社, 樋口俊郎
  • 物体浮揚装置を具備した物体搬送装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-104891   Applicant:株式会社カイジョー
  • 静電アクチュエータ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平8-036571   Applicant:財団法人神奈川科学技術アカデミー, 坂高寿
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