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J-GLOBAL ID：200903086691810566

単結晶引上げ装置用の冷凍機冷却型超電導磁石装置

Inventor：
桜庭 順二

About 桜庭 順二


Applicant, Patent owner：
住友重機械工業株式会社

About 住友重機械工業株式会社


Agent (1)： 後藤 洋介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998005955
Publication number (International publication number)：1999199367
Application date： Jan. 14, 1998
Publication date： Jul. 27, 1999
Summary：
【要約】【課題】 MCZ法による単結晶引き上げ装置に適した冷凍機冷却型超電導磁石装置を提供すること。【解決手段】 単結晶成長装置の周囲に配置され、溶融シリコンに磁界を与えるための超電導コイル11a、11bを収容した真空容器10と、真空容器の上部に配置され、超電導コイルを冷却するための冷凍機12aとを備える。超電導コイルは、真空容器内で巻枠としてのコイル冷却用熱伝導体13で支持されており、冷凍機の冷凍ステージ12-1、12-2は真空容器内にあってコイル冷却用熱伝導体に設けられた接続部13-1の近くまで延びている。第二段の冷凍ステージ先端のコールドヘッド12-21と接続部との間を可撓性を有する伝熱部材14で接続した。
Claim (excerpt)：
溶融シリコンから単結晶半導体を製造する単結晶成長装置における前記溶融シリコンに磁界を与えるための冷凍機冷却型超電導磁石装置において、前記単結晶成長装置の周囲に配置され、前記磁界を発生するための超電導コイルを収容した真空容器と、該真空容器の上部に配置され、前記超電導コイルを冷却するための冷凍機とを備え、前記超電導コイルは、前記真空容器内で巻枠としてのコイル冷却用熱伝導体で支持されており、前記冷凍機の冷凍ステージは前記真空容器内にあって前記コイル冷却用熱伝導体に設けられた接続部の近くまで延びており、前記冷凍ステージ先端のコールドヘッドと前記接続部との間を可撓性を有する伝熱部材で接続したことを特徴とする単結晶引上げ装置用の冷凍機冷却型超電導磁石装置。
IPC (6)：
C30B 15/00 ZAA ,  C30B 29/06 502 ,  C30B 30/04 ,  F25B 9/00 ,  H01F 6/04 ,  H01L 21/208
FI (6)：
C30B 15/00 ZAA Z ,  C30B 29/06 502 G ,  C30B 30/04 ,  F25B 9/00 H ,  H01L 21/208 P ,  H01F 7/22 G
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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