高出力スパッタ条件ですぐれた耐割損性を発揮する光記録媒体保護層形成用スパッタリングターゲット焼結材

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：富田和夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000355573
Publication number (International publication number)：2002161359
Application date： Nov. 22, 2000
Publication date： Jun. 04, 2002
Summary：

【要約】【課題】高出力スパッタ条件ですぐれた耐割損性を発揮する光記録媒体保護層形成用ターゲット材を提供する。【解決手段】光記録媒体保護層形成用ターゲット材が、質量%で、酸化珪素:4〜30%、酸化インジウム:7〜35%、硫化亜鉛:残り、からなる配合組成を有する混合粉末のホットプレス焼結体にして、かつ走査型電子顕微鏡による組織観察で、実質的に酸化インジウムが網目状連続相を構成し、残りの前記網目状連続相の網目を埋めた部分に硫化亜鉛相と酸化珪素相がそれぞれ分散相として存在する組織を有する。

Claim (excerpt)：

質量%で、酸化珪素:4〜30%、酸化インジウム:7〜35%、硫化亜鉛:残り、からなる配合組成を有する混合粉末のホットプレス焼結体にして、かつ走査型電子顕微鏡による組織観察で、実質的に酸化インジウムが網目状連続相を構成し、残りの前記網目状連続相の網目を埋めた部分に硫化亜鉛相と酸化珪素相がそれぞれ分散相として存在する組織を有することを特徴とする、高出力スパッタ条件ですぐれた耐割損性を発揮する光記録媒体保護層形成用スパッタリングターゲット焼結材。

IPC (5)：

C23C 14/34 , C04B 35/495 , C04B 35/547 , G11B 7/24 534 , G11B 7/26 531

FI (5)：

C23C 14/34 A , G11B 7/24 534 N , G11B 7/26 531 , C04B 35/00 J , C04B 35/00 T

F-Term (19)：

4G030AA34 , 4G030AA37 , 4G030AA56 , 4G030BA01 , 4G030BA18 , 4G030CA01 , 4G030GA29 , 4K029BA50 , 4K029BD12 , 4K029CA05 , 4K029DC09 , 5D029LA14 , 5D029LA15 , 5D029LA17 , 5D029LA19 , 5D121AA04 , 5D121EE03 , 5D121EE11 , 5D121EE14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭63-143254
光記録媒体の干渉膜用スパッタリングターゲットおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-252058 Applicant：ティーディーケイ株式会社
焼結体およびその製造方法ならびに該焼結体を用いる成膜方法および該焼成体により成膜した膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-068596 Applicant：株式会社リコー

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