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J-GLOBAL ID:200903086719151261

共焦点用光スキャナ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 東野 博文
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997250653
Publication number (International publication number):1999095109
Application date: Sep. 16, 1997
Publication date: Apr. 09, 1999
Summary:
【要約】【課題】均一性の高い光束をマイクロレンズに入射させることのできる共焦点用光スキャナを提供する。【解決手段】点光源からの光を平行光にするコリメータレンズと、光を通過させる開口部を有した遮蔽板と、複数のマイクロレンズが形成された集光ディスクと、複数のピンホールを有し前記マイクロレンズの焦点位置に各ピンホールが位置するように前記集光ディスクに連結されたピンホール・ディスクを備え、この2つのディスクを一体に回転させ、前記マイクロレンズおよびピンホールを通過した照射光を試料に対して走査する共焦点用光スキャナにおいて、前記集光ディスクへ入射する光の光強度の均一性を補正する光強度分布補正フィルターを設ける。
Claim (excerpt):
点光源からの光を平行光にするコリメータレンズと、光を通過させる開口部を有した遮蔽板と、複数のマイクロレンズが形成された集光ディスクと、複数のピンホールを有し前記マイクロレンズの焦点位置に各ピンホールが位置するように前記集光ディスクに連結されたピンホール・ディスクを備え、この2つのディスクを一体に回転させ、前記マイクロレンズおよびピンホールを通過した照射光を試料に対して走査する共焦点用光スキャナであって、前記集光ディスクへ入射する光の光強度の均一性を補正する光強度分布補正フィルターを設けたことを特徴とする共焦点用光スキャナ。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 走査型光学顕微鏡
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平8-034733   Applicant:オリンパス光学工業株式会社
  • 特開平1-210923
  • 共焦点走査型顕微鏡
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-211899   Applicant:富士写真フイルム株式会社
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