チタン含有層用エッチング液及びチタン含有層のエッチング方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：重野剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003415205
Publication number (International publication number)：2005097715
Application date： Dec. 12, 2003
Publication date： Apr. 14, 2005
Summary：

【課題】シリコン基板又は珪酸系ガラス基板上に形成された、チタン、チタン酸化物、チタン窒化物及びチタン酸窒化物よりなる群から選ばれる1種又は2種以上を主成分とするチタン含有層を、速いエッチング速度で、しかも、基板を侵すことなく選択的にエッチングする。【解決手段】シリコン基板又は珪酸系ガラス基板上に形成された、チタン、チタン酸化物、チタン窒化物及びチタン酸窒化物よりなる群から選ばれる1種又は2種以上を主成分とするチタン含有層をエッチングするためのエッチング液であって、珪フッ化水素酸を含有するチタン含有層用エッチング液。このエッチング液を用いて、シリコン基板又は珪酸系ガラス基板上のチタン含有層をエッチングするエッチング方法。珪フッ化水素酸はフッ酸と珪素又は酸化珪素との反応で生成する物質であって、シリコン又は珪酸系ガラスに対しては不活性であるが、チタン、チタン酸化物、チタン窒化物又はチタン酸窒化物に対しては十分なエッチング性能を持ち、シリコン基板又は珪酸系ガラス基板上のチタン含有層のエッチングに関して、十分な選択性を有する。

Claim (excerpt)：

シリコン基板又は珪酸系ガラス基板上に形成された、チタン、チタン酸化物、チタン窒化物及びチタン酸窒化物よりなる群から選ばれる1種又は2種以上を主成分とするチタン含有層をエッチングするためのエッチング液であって、珪フッ化水素酸を含有することを特徴とするチタン含有層用エッチング液。

IPC (3)：

C23F1/26 , C23F1/44 , H01L21/308

FI (3)：

C23F1/26 , C23F1/44 , H01L21/308 F

F-Term (21)：

4K057WA10 , 4K057WA13 , 4K057WB08 , 4K057WB15 , 4K057WE02 , 4K057WE07 , 4K057WE08 , 4K057WE11 , 4K057WE25 , 4K057WE30 , 4K057WF01 , 4K057WG02 , 4K057WG03 , 4K057WJ05 , 4K057WM03 , 4K057WN01 , 5F043AA26 , 5F043AA37 , 5F043BB18 , 5F043BB25 , 5F043GG02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

チタニウム及びチタニウム合金の白金めっき前処理用粗面化エッチング液並びに白金めっき前処理用粗面化エッチング方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-046256 Applicant：田中貴金属工業株式会社
基板から皮膜を除去する方法およびそれに用いる組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-173362 Applicant：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ

Cited by examiner (3)

特開平1-272785
特開昭55-020390
チタンまたはチタン合金のエッチング方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-200515 Applicant：三菱瓦斯化学株式会社

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