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J-GLOBAL ID:200903087061659157
反射防止膜を有する光学部材
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997171837
Publication number (International publication number):1998073702
Application date: Jun. 27, 1997
Publication date: Mar. 17, 1998
Summary:
【要約】【課題】 高温状態でもクラックが発生しにくく、且つ優れた反射防止性能を持った反射防止膜を有する光学部材を提供する。【解決手段】 合成樹脂基板上に、少なくとも、酸化タンタル(Ta2O5)と酸化チタン(TiO2)との混合膜と、前記混合膜より屈折率の低い低屈折率膜とを有する反射防止膜を設けたことを特徴とする反射防止膜を有する光学部材である。
Claim (excerpt):
合成樹脂基板上に、少なくとも、酸化タンタル(Ta2O5)と酸化チタン(TiO2)との混合膜と、前記混合膜より屈折率の低い低屈折率膜とを有する反射防止膜を設けたことを特徴とする反射防止膜を有する光学部材。
IPC (4):
G02B 1/11
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00
, C23C 14/08
FI (4):
G02B 1/10 A
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00 A
, C23C 14/08 N
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (16)
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特開平3-129301
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特開平3-129301
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光学素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-230956
Applicant:キヤノン株式会社
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特開平4-156501
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特開平4-156501
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特開平4-191801
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特開平4-191801
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反射防止膜
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-035625
Applicant:株式会社ニコン
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反射防止膜および該反射防止膜を備えた光学系、ならびに該光学系を用いた露光装置やデバイス製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-277831
Applicant:キヤノン株式会社
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光学薄膜材料およびそれを用いた反射防止膜
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-109694
Applicant:株式会社オプトロン, キヤノン株式会社
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特開平3-129301
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特開平4-156501
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特開平4-191801
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特開平3-129301
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特開平4-156501
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特開平4-191801
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