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J-GLOBAL ID：200903087095572280

2次元アレイ型放射線検出器とそのX線遮蔽壁の製造方法

Inventor：
戸波 寛道

About 戸波 寛道


Applicant, Patent owner：
株式会社島津製作所

About 株式会社島津製作所


Agent (1)： 喜多 俊文 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001125823
Publication number (International publication number)：2002318283
Application date： Apr. 24, 2001
Publication date： Oct. 31, 2002
Summary：
【要約】【課題】 2次元方向の散乱X線を除去し、画素ピッチとの干渉縞、グリッド板傾斜による濃淡縞を発生しない2次元アレイ型放射線検出器を提供する。【解決手段】 板状の感光性ガラス1に、フォトマスクを用いて、X線検出部の画素ピッチのn倍(nは整数)となるピッチで、紫外線光源により光露光を行い、加熱現像処理で結晶化させ、再露光後、エッチングしてX線入射方向に格子溝をつくり、X線吸収材を充填して表面に2次元状の表面縦溝遮蔽2と表面横溝遮蔽3を、裏面に2次元状の裏面縦溝遮蔽2aと裏面横溝遮蔽3aを形成したグリッドを製作する。そして、TFTガラス基板5上に設けられたシンチレータ7と光電変換素子6と走査回路8からなるX線検出部に、画素と一致するようにスペーサ4を用いて精度よく前面にグリッドを配置する。
Claim (excerpt)：
X線検出部と散乱線除去用のグリッドとを備え、X線源からコーン状のX線ビームを被検者に照射して得られる透過X線が、前記グリッドを介してX線検出部に導かれるように構成した2次元アレイ型放射線検出器において、前記X線検出部と平行なX-Y方向にX線検出部の画素ピッチのn倍(nは整数)となるピッチでX線入射方向に格子溝を形成し、その格子溝にX線吸収材を充填したX線遮蔽壁と、そのX線遮蔽壁に対応して配置されたX線検出部とを備えることを特徴とする2次元アレイ型放射線検出器。
IPC (5)：
G01T 7/00 ,  A61B 6/06 331 ,  G01T 1/20 ,  G01T 1/24 ,  G21K 1/02
FI (6)：
G01T 7/00 B ,  A61B 6/06 331 ,  G01T 1/20 E ,  G01T 1/24 ,  G21K 1/02 G ,  G21K 1/02 M
F-Term (20)：
2G088EE01 ,  2G088EE02 ,  2G088FF02 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ12 ,  2G088JJ13 ,  2G088JJ37 ,  2G088LL09 ,  2G088LL12 ,  4C093AA01 ,  4C093AA22 ,  4C093CA07 ,  4C093CA13 ,  4C093EB12 ,  4C093EB17 ,  4C093EB22 ,  4C093EB25
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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