Pat
J-GLOBAL ID:200903087162097966

感光性ペースト

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997214871
Publication number (International publication number):1999052561
Application date: Aug. 08, 1997
Publication date: Feb. 26, 1999
Summary:
【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にすると共に、焼成して形成される隔壁の着色や剥がれなどの欠陥を解消することができる感光性ペーストを提供する。【解決手段】ガラス微粒子と感光性有機成分とを必須成分とする感光性ガラスペーストにおいて、ガラス微粒子が、光反応により形成される感光性有機成分の硬化物の熱重量分析で減量率が80%に達する温度よりも10°C以上高いガラス転移点を有し、かつガラス軟化点が570°C以下であることを特徴とする感光性ペーストとする。
Claim (excerpt):
ガラス微粒子と感光性有機成分とを必須成分とする感光性ガラスペーストにおいて、ガラス微粒子が、光反応により形成される感光性有機成分の硬化物の熱重量分析で減量率が80%に達する温度よりも10°C以上高いガラス転移点を有し、かつガラス軟化点が570°C以下であることを特徴とする感光性ペースト。
IPC (8):
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 505 ,  C03C 8/14 ,  C08K 3/40 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H01J 9/02
FI (8):
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/004 505 ,  C03C 8/14 ,  C08K 3/40 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H01J 9/02 F
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

Return to Previous Page